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MEMS壓力傳感器

成果簡(jiǎn)介： 自然頻率 55kHz-79 kHz 量程 Normal：9kPa-120kPa Extended：5kPa-160kPa 靈敏度 50-80Hz/kPa 一個(gè)大氣壓下（101.3kPa）的諧振頻率 63 kHz-75 kHz 受溫度的影響 15V±1.5V 驅(qū)動(dòng)電壓 50-80Hz/kPa

電子科技大學(xué) 2017-10-23

非硅MEMS 技術(shù)及其應(yīng)用

 1988年國(guó)際上提出的MEMS(MicroElectroMechanical System)技術(shù)是將IC工藝和機(jī)電設(shè)計(jì)相結(jié)合制造微傳感器、微執(zhí)行器和微系統(tǒng)的新技術(shù)，也稱硅MEMS。作為對(duì)硅MEMS的補(bǔ)充和發(fā)展，非硅材料種類繁多、性能各異，能滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域的需求，我們?cè)趪?guó)家863 計(jì)劃等項(xiàng)目支持下于九十年代初首先提出并創(chuàng)立了非硅MEMS技術(shù)。 提出非硅MEMS新概念和總體思路；開(kāi)發(fā)了以金屬基為主的多種材料兼容的非硅表面微加工、高深寬比三維微加工等成套非硅微加工技術(shù)，為非硅MEMS發(fā)展奠定了良好基礎(chǔ)；把經(jīng)典原理和非硅微加工結(jié)合，開(kāi)發(fā)了一系列壓電、靜電、磁電、微流體、慣性等種類的微器件和微系統(tǒng)，形成若干具有完全知識(shí)產(chǎn)權(quán)的專利群；并將非硅MEMS應(yīng)用于生物芯片、微引信、信息、光器件、復(fù)合膜模具、國(guó)防武器、非硅MEMS生產(chǎn)線等眾多領(lǐng)域，取得了顯著的經(jīng)濟(jì)、社會(huì)效益，推動(dòng)和引領(lǐng)了我國(guó)非硅MEMS技術(shù)的應(yīng)用和發(fā)展。  非硅MEMS技術(shù)及其應(yīng)用獲得國(guó)家技術(shù)發(fā)明二等獎(jiǎng)2項(xiàng)（2008，2000），省部一等獎(jiǎng)4項(xiàng)，獲2009年中國(guó)工業(yè)博覽會(huì)創(chuàng)新獎(jiǎng)；授權(quán)發(fā)明專利200多項(xiàng)；出版MEMS專著6部。

上海交通大學(xué) 2021-04-13

虛擬顯示頭盔顯示器技

所設(shè)計(jì)的頭盔顯示器目鏡畸變系數(shù)低于5%，色差小，視場(chǎng)角達(dá)到120度，放大率合適。配合光路結(jié)構(gòu)達(dá)到非常理想的成像效果。結(jié)構(gòu)采用2k分辨率的高z清顯示屏。 所設(shè)計(jì)的相關(guān)控制電路模塊精確簡(jiǎn)單，并且對(duì)頭盔姿態(tài)響應(yīng)敏感、準(zhǔn)確。高清顯示屏顯示內(nèi)容準(zhǔn)確，刷新速率滿足要求。整個(gè)驅(qū)動(dòng)電路在響應(yīng)速度上延遲不超過(guò)20ms，人眼難以察覺(jué)。

上海理工大學(xué) 2021-04-13

光學(xué)防抖MEMS驅(qū)動(dòng)器

本發(fā)明公開(kāi)了一種光學(xué)防抖MEMS驅(qū)動(dòng)器.現(xiàn)有的光學(xué)防抖驅(qū)動(dòng)器,最多僅具有五軸.本發(fā)明包括平面三軸驅(qū)動(dòng)器和垂直三軸驅(qū)動(dòng)器.所述的平面三軸驅(qū)動(dòng)器包括第一框架,驅(qū)動(dòng)臂和中間固定板.垂直三軸驅(qū)動(dòng)器包括運(yùn)動(dòng)件和驅(qū)動(dòng)件.運(yùn)動(dòng)件包括第二框架,第二懸臂,偏轉(zhuǎn)盤,彈簧條,中心盤和第三接觸點(diǎn).多根第二懸臂的一端均與偏轉(zhuǎn)盤連接,另一端均與第二框架連接.驅(qū)動(dòng)件包括底盤和扇環(huán)狀電極片組.扇環(huán)狀電極片組包括n片扇環(huán)狀電極片.n片扇環(huán)狀電極片均固定在底板上.扇環(huán)狀電極片組與偏轉(zhuǎn)盤對(duì)齊.本發(fā)明可實(shí)現(xiàn)使圖像傳感器在平面三軸及豎直三軸上運(yùn)動(dòng),解決由于相機(jī)抖動(dòng)帶來(lái)的圖像模糊問(wèn)題.

杭州電子科技大學(xué) 2021-05-06

北京技睿新天科技有限公司

北京技睿新天科技有限公司是一家致力于三維掃描系統(tǒng)研發(fā)、三維掃描儀生產(chǎn)與銷售，并提供三維掃描、產(chǎn)品設(shè)計(jì)、逆向造型培訓(xùn)等專業(yè)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。 我公司具有雄厚的產(chǎn)品開(kāi)發(fā)與技術(shù)創(chuàng)新能力，匯聚了一批擁有高學(xué)歷、豐富工程經(jīng)驗(yàn)的精英組成研發(fā)團(tuán)隊(duì)。公司配備有專門的產(chǎn)品研發(fā)中心及項(xiàng)目工程部門，吸納國(guó)內(nèi)最優(yōu)秀的IT及機(jī)械行業(yè)專業(yè)人士，其人員組成以碩士博士為主，均來(lái)自全國(guó)各大名牌高校及科研院所，不但具有雄厚的新技術(shù)研發(fā)能力，亦具有科學(xué)合理的配套項(xiàng)目服務(wù)能力。公司在研發(fā)方面與中科院自動(dòng)化研究所形成了合作機(jī)制，在新技術(shù)的運(yùn)用及推廣上有良好的互動(dòng)和協(xié)作。自公司成立至今，已將公司主要產(chǎn)品——技睿新天JR系列三維掃描系統(tǒng)軟件更新?lián)Q代三次，相繼推出了JR系列三維掃描儀、JR人體掃描儀、普睿PRECAM攝影測(cè)量系統(tǒng)以及便攜接觸式測(cè)量系統(tǒng)（光筆系統(tǒng)），形成了成熟的產(chǎn)品體系，并全面提升了產(chǎn)品的性能及競(jìng)爭(zhēng)力，產(chǎn)品所用技術(shù)在國(guó)內(nèi)首屈一指，在國(guó)際亦名列前茅。  

北京技睿新天科技有限公司 2021-01-15

新型諧振MEMS微慣性傳感器

研發(fā)生產(chǎn)的半球諧振微陀螺、圓盤多環(huán)微陀螺等10多款高性能、小尺寸、高可靠性MEMS微慣性傳感器，達(dá)到慣性級(jí)，在微小衛(wèi)星、微航天器等場(chǎng)合極具應(yīng)用潛力。與傳統(tǒng)的微陀螺相比，該陀螺無(wú)運(yùn)動(dòng)部件，抗沖擊性更好；同時(shí)該陀螺可以采用角速度檢測(cè)和角速度積分檢測(cè)兩種工作模式，極大的提升了其應(yīng)用場(chǎng)合與范圍。

上海交通大學(xué) 2021-04-10

一種 MEMS 器件的封裝方法

本發(fā)明公開(kāi)了一種 MEMS 器件的封裝方法，包括 S1 在框架基 板與封蓋的內(nèi)表面上對(duì)稱附著圖形化的過(guò)渡金屬化層和釬料層；S2 在 框架基板的釬料層上附著圖形化的自蔓延多層膜；S3 將芯片鍵合固定 在框架基板上并實(shí)現(xiàn)信號(hào)互連；S4 將固定有芯片的框架基板與封蓋進(jìn) 行除氣除濕處理后對(duì)準(zhǔn)堆疊形成封裝結(jié)構(gòu)；S5 對(duì)封裝結(jié)構(gòu)施加壓力、 預(yù)熱后引燃自蔓延多層膜，自蔓延多層膜燃燒并熔化釬料層實(shí)現(xiàn)冶金 互連。本發(fā)明將封蓋直接與框架

華中科技大學(xué) 2021-04-14

新型諧振MEMS微慣性傳感器

針對(duì)我國(guó)在軍事、工業(yè)等領(lǐng)域?qū)Ω咝阅堋⑿〕叽纭⒏呖煽啃訫EMS微慣性傳感器日益迫切的需求，上海交通大學(xué)自2001年起就開(kāi)展基于MEMS技術(shù)的微慣性傳感器的研究，已成功研制十余款傳感器樣機(jī)，在研的半球諧振微陀螺、圓盤多環(huán)微陀螺等預(yù)期體積小于1cm3，成本低于50美元，功耗低于100mW，有望達(dá)到慣性級(jí)，在微小衛(wèi)星、微航天器等場(chǎng)合極具應(yīng)用潛力。與傳統(tǒng)的微陀螺相比，該陀螺無(wú)運(yùn)動(dòng)部件，抗沖擊性更好；同時(shí)該陀螺可以采用角速度檢測(cè)和角速度積分檢測(cè)兩種工作模式，極大的提升了其應(yīng)用場(chǎng)合與范圍，特別適合在高G環(huán)境下進(jìn)行空間位置測(cè)量、導(dǎo)航與姿態(tài)控制等。此外，其在消費(fèi)電子市場(chǎng)以及汽車市場(chǎng)也擁有這巨大的應(yīng)用空間，如手機(jī)、游戲機(jī)等手持電子設(shè)備的姿態(tài)控制系統(tǒng)，照相機(jī)、攝像機(jī)的穩(wěn)定電子平臺(tái)，汽車的防翻車預(yù)警系統(tǒng)等。。相關(guān)研究?jī)?nèi)容作為重要組成部分曾獲省部級(jí)及以上獎(jiǎng)勵(lì)多次，授權(quán)發(fā)明專利幾十余項(xiàng)，微陀螺方面的專利國(guó)內(nèi)第一，國(guó)際第二，發(fā)表SCI/EI等論文幾十篇。

上海交通大學(xué) 2021-04-13

深圳市技湛科技有限公司

　　深圳技湛科技有限公司成立于2013年8月，是一家擁有音視頻核心研發(fā)能力的高科技創(chuàng)新型企業(yè)，公司核心創(chuàng)始人研發(fā)團(tuán)隊(duì)專注音頻核心算法研究超過(guò)十年，具備豐富的音視頻研發(fā)經(jīng)驗(yàn)和精湛的技術(shù)實(shí)力。目前深圳技湛已推出擁有核心競(jìng)爭(zhēng)力自主品牌的音頻處理器操作系統(tǒng)，并通過(guò)深圳市高新技術(shù)和軟件企業(yè)認(rèn)證，成為音頻領(lǐng)域技術(shù)研發(fā)能力頂尖的高科技公司。 　　深圳技湛專注于研發(fā)、生產(chǎn)、銷售具備自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)“GEAZAN”品牌的數(shù)字音頻處理器、模擬和數(shù)字麥克風(fēng)、本地遠(yuǎn)講數(shù)字?jǐn)U聲系統(tǒng)等整套前端音頻解決方案產(chǎn)品。另外，深圳技湛同時(shí)為幾十家音視頻品牌廠商提供ODM技術(shù)支撐和OEM產(chǎn)品，為合作伙伴提供定制化的音頻配套產(chǎn)品。 　　深圳技湛自公司成立至今，憑借積極奮進(jìn)，不斷進(jìn)取的專注精神，秉承“聆聽(tīng)、精進(jìn)”的企業(yè)文化，公司產(chǎn)品和技術(shù)服務(wù)得到業(yè)內(nèi)諸多知名品牌企業(yè)客戶的贊譽(yù)和認(rèn)可。深圳技湛已成為數(shù)字音頻領(lǐng)域自主創(chuàng)新品牌的新軍。

深圳市技湛科技有限公司 2021-01-15

上海齊玖科技有限公司

上海齊玖科技有限公司 2023-05-08