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本研究根據科技部統一部署，依據國家山東半島藍色經濟區戰略規劃、黃 河三角洲高效生態經濟區發展規劃，針對山東省高端裝備制造產業轉型發展需 求，重點突破服務型制造關鍵技術和產業急需的共性關鍵技術；積極拓展“兩 化”融合的發展空間，圍繞制造業轉型升級，推進制造業信息化從單業務應用 向多業務綜合集成轉變，從企業信息應用向業務流程優化再造轉變，從單一企 業應用向產業鏈上下游協同應用轉變。 主要研究內容包括研發覆蓋重點產業的云制造服務平臺，服務 500 家企業； 面向區域內大型骨干企業，攻克產品數字化設計、集團精細化管控、產業鏈協 同等關鍵技術，研發相應的信息化系統平臺，完成 3 家企業應用示范，拉動 30 家企業深化應用；開展智能嵌入式、工業泛在網、傳感網和智能控制等技術攻 關，并在 3 家高端裝備制造企業中集成應用，拉動 20 家企業深化應用；開展自 主知識產權核心軟件與制造物聯關鍵技術成果的應用，新增 10 家以上應用企業； 開展標準、評估、培訓等支撐環境建設，開展信息化指數調查（企業 100 家以 上），完成人才培訓 5 萬人次以上。 本項目獲得國家科技支撐計劃資助，項目執行期 2012.1-2015.12。

1 成果簡介基于網絡及數字媒體平臺的高端信息服務關鍵技術和產業化——通過網絡及數字媒體服務平臺（如數字電視，有線寬帶，電信 e 家平臺等），設計后端高端信息服務體系架構，從而最大化的利用多媒體數字服務平臺構建高端信息服務網絡生態系統平臺并產業化。 項目有利于改變目前網絡數字媒體和計算機軟件的“ 生態鏈”，渠道提供者與服務提供者會占據更為重要的位置， 這也符合我們的實際國情。同時，提升深港和大珠三角地區網絡數字媒體平臺，高端信息服務，系統集成商及數字媒體工業的能力，在數字媒體網絡接入平臺的融合潮流中發展創新性的技術和把握市場機會，快捷有效地開發新的先進技術，拓展新商機，將廣東省及產業示范基地的信息內容服務和增值服務產業做大、做強。2 應用范圍廣東省和大珠三角地區的信息產業，系統集成商，高端信息服務商，與數字媒體網絡行業相關的企業如消費電子產品，通訊產品，數字電視和計算機產品等的數字媒體設計公司，均可受惠。3 效益分析產業化后預期產值超過 1 億元人民幣。

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光掩膜版(又稱光罩，掩膜版，英文 Photo-mask )是芯片制作中實現設計圖形轉移的載體，是決定其微細結構和線寬精度的核心材料和工具。 目前中國半導體掩膜版的國產化率10%左右，90%需要進口，高端掩膜版國產化率3%，miniLED和microLED產業升級也需要更多高端掩膜版。隨著中國市場需求的持續提升，掩膜版產能嚴重不足。并且中國半導體掩膜版的產業起步較晚，技術滯后，核心技術和裝備基本讓國外公司壟斷，特別是在設備、材料領域眾多技術處于“卡脖子”狀態，例如掩膜版制造的核心裝備光刻機、檢測機、測量機、修復機和貼膜機等都依賴進口，嚴重制約中國半導體產業的發展。華中科技大學徐智謀教授團隊致力于全套高端半導體光掩膜版的關鍵核心技術研發與量產，為“卡脖子”技術研究而努力。 具有建立180 nm技術節點半導體掩膜版量產線相關核心技術；具備130 nm至28 nm半導體掩膜版研發、設計及驗證能力。主要研究成果如下： 1） 工藝突破 團隊掌握了掩膜版MEMS微納加工量產核心技術，如電子束光刻、激光光刻和納米壓印光刻等MEMS微納加工工藝的各類技術參數的搭配和優化，以及大數據量軟件快速處理、補償等。 2） 裝備國產化 A. 超高精度二維測量裝備 尺寸測量是驗證掩膜版技術指標的核心，主要包括關鍵尺寸測量(CD)和長尺寸測量(TP)。團隊已掌握掩膜版的關鍵測量技術，達到國內先進水平，具有整套設備的整機制造能力。 TP測量是掩膜版制作的核心指標，直接影響到客戶的套合精度，該測量設備一直由國外極少數廠商壟斷，且價格昂貴，一般在1000萬美元以上，高端限制對中國出口。團隊目前正在攻克該項技術，已取得階段性成果。 B. 缺陷修復裝備 掩膜版修補技術是提升良品率的關鍵手段，該技術一直為國外壟斷。團隊已熟練掌握UV、DUV激光化學沉積技術及皮秒飛秒激光金屬處理技術，具備整機制造能力，可降低設備采購成本70%以上。 C. Pellicle自動貼膜裝備 隨著產品精度的提升和應用領域的高端化，掩膜版貼膜是個不可缺少的重要環節。在IC制造領域100%掩膜版需貼Pellicle，在IC封裝領域90%以上需貼膜，在LED領域80%以上需貼膜。該貼膜設備一直國外公司壟斷，國內廠家沒有提供，國外采購全自動貼膜設備需100萬美元左右。團隊具備研發制造該設備的能力，貼膜精度±0.1mm,且有設備正式在產線運營，制造成本可節約90%以上。 3） 廠房建設關鍵技術 團隊對MEMS及其掩膜工廠工藝設備廠務設計有豐富經驗，掌握高等級防微震廠房結構和設備平臺的設計施工，可達到VC-D級技術標準，滿足納米級生產技術要求。 【技術優勢】 （1）掌握了高性價比掩膜版量產的關鍵核心技術，包括部分裝備的國產化，解決“卡脖子”技術難題，量產線建設成本節約30%以上； （2）具備28 nm及以下技術節點掩膜版設計開發能力和驗證平臺，驗證周期可縮短3倍； （3）擁有一支20多年以上掩膜版量產、研發和銷售經驗的隊伍，成熟的企業管理經驗，保證企業穩步成長，確保投資風險可控。 【合作方式】 股權投資合作共建或政府孵化+中試線。

1 成果簡介基于網絡及數字媒體平臺的高端信息服務關鍵技術和產業化——通過網絡及數字媒體服務平臺（如數字電視，有線寬帶，電信 e 家平臺等），設計后端高端信息服務體系架構，從而最大化的利用多媒體數字服務平臺構建高端信息服務網絡生態系統平臺并產業化。 項目有利于改變目前網絡數字媒體和計算機軟件的“ 生態鏈”，渠道提供者與服務提供者會占據更為重要的位置， 這也符合我們的實際國情。同時，提升深港和大珠三角地區網絡數字媒體平臺，高端信息服務，系統集成商及數字媒體工業的能力，在數字媒體網絡接入平臺的融合潮流中發展創新性的技術和把握市場機會，快捷有效地開發新的先進技術，拓展新商機，將廣東省及產業示范基地的信息內容服務和增值服務產業做大、做強。2 應用范圍廣東省和大珠三角地區的信息產業，系統集成商，高端信息服務商，與數字媒體網絡行業相關的企業如消費電子產品，通訊產品，數字電視和計算機產品等的數字媒體設計公司，均可受惠。

塑性精密成形是坯料在外力作用下，使金屬在模具中發生塑性變形而成為所需形狀、尺寸和性能的產品加工過程。該工藝能夠解決材料切屑加工困難、加工量大、材料利用率低等問題，既減少了人力物力的浪費，又提高了產品的尺寸精度和使用性能。 1、鋁合金、鈦合金等溫精密模鍛工藝應用 某型號飛機鋁合金法蘭盤無斜度、無余量等溫精鍛件，圖1所示，該鍛件通過一次性成形達到零件外形設計尺寸，內孔和外形無須機械加工。 圖1 鋁合金法蘭盤精密成型件 某型號飛機Ti-1023鈦合金護板接頭等溫精鍛件，圖2所示，該等溫精鍛件外形無余量，為簡單毛坯一次成形。   圖2 鋼板焊接件及鈦合金精鍛件 某型號Ti-1023鈦合金搖臂等溫精鍛件，圖3所示，已通過裝機試飛測試，屬于無斜度無余量精鍛件。                                                                          圖3(a) 鋼搖臂機加件     圖3(b) 鈦合金搖臂等溫精鍛件 圖4所示為某型號發動機TC6鈦合金等溫精鍛件搖臂和指針。研制的鈦合金等溫精鍛件的復雜程度處于國內領先水平。 圖4 鈦合金等溫精鍛件 2、液態模鍛（擠壓鑄造）工藝應用 該工藝可解決鋁合金小型復雜結構件的精密、高效的成型問題。針對氣泵上蓋零件，圖5所示，實現了一模成形（多）兩件、帶側孔抽芯、鋼鑲嵌件等工藝特點，簡化了原加工工藝，降低了制造成本。 圖5 氣泵上蓋液態模鍛件 與某軍工廠合作完成了多功能炮彈殼體液態模鍛工藝研究，圖6所示，炮彈毛坯內孔不加工，材料利用率大幅提高，加工工時大幅度下降，炮彈試驗件經靶場試驗測試滿足設計要求。 圖6 氣泵上蓋液態模鍛件 某航空儀表電器廠傳感器法蘭盤，圖7所示，材料為Ly12，采用液態模鍛技術制取通用毛坯，替代原工藝采用的擠壓棒料直接加工，可加工出8種尺寸規格的零件，降低了材料消耗，縮短了加工周期，節省了加工費用，已實現批量生產。 圖7 氣泵上蓋液態模鍛件 電器安裝基板，如圖8所示，材料為6063鋁合金，采用液態模鍛技術，實現了一模成形兩件，將原數控加工的槽溝一次成形，尺寸達到設計要求，簡化了該零件的加工工藝，縮短了加工周期，提高了生產效率。 圖8 電器安裝基板液態模鍛件 3、鋁合金精密冷擠壓工藝應用 變形鋁合金薄壁深筒“液壓鎖缸體”零件，圖9所示，原工藝采用棒料直接加工而成，加工難度大、材料利用率低；利用冷擠壓技術直接成形，擠壓件要求外形及內孔不加工，表面質量要求高，通過工藝及模具設計優化，零件尺寸精度均達到設計要求，內外表面均不需要加工。 圖9 液壓鎖缸體擠壓件 手機電池用鋁殼毛坯，圖10所示，一次冷擠壓成形工藝，鋁殼壁厚0.3mm，外形尺寸可按要求設計，同時解決了擠壓件的表面質量問題，所開發的工藝可用于成型矩形的各種尺寸規格手機電池鋁殼。 圖10 手機電池殼擠壓件 鋁合金電器屏蔽罩，圖11所示，截面尺寸29×43mm，長度160mm，壁厚1.2mm，采用簡單毛坯一次性擠壓成形，表面質量好，尺寸精度高。 圖11 鋁合金電器屏蔽罩擠壓件

本成果主要針對我國機械、航空、航天、船舶和國防武器等工程領域重要裝備核心基礎 部件及系統迫切需要解決的共性關鍵技術難題，在國家自然科學基金、國家航天關鍵技術和 重慶市支撐計劃等重點科技項目資助下，在特殊與極端環境下的高性能機電傳動及系統研究 方向，通過十多年潛心研究，發明并研制出基于高可靠精密濾波傳動技術及系統的高新產品。 主要創新性成果如下： 1. 發明了具有人體關節功能的高可靠精密濾波傳動技術，研制出高可靠精密濾波減速器, 該傳動機構在高傳動精度范圍內具有人體關節功能的自適應變形協調控制能力，能有效過濾 和降低動力傳遞與運動變換過程中的波動、振動和噪聲，攻克了高精度與高可靠之間難以兼 顧協調的關鍵技術瓶頸。 2. 發明并研制出高可靠精密濾波驅動裝置與工業機器人集成系統，創造性地解決了傳統 驅動裝置在滿足動力傳遞與運動控制精度的同時難以確保其高可靠性的關鍵技術難題，并成 功應用于工業機器人和國防武器等重要裝備。 3. 發明并研制出基于高可靠濾波傳動技術的智能型水潤滑橡膠合金軸承、高彈性橡膠合 金聯軸器及傳動系統，使得船舶推進系統艇軸具有人體關節功能的自適應變形協調精確對中 控制能力，有效降低了振動噪聲和無功能耗，大大提高了動力推進系統核心基礎部件的可靠 性和使用壽命。 4. 發明并研制出基于高可靠精密濾波傳動技術的工程復合材料精密成形數字制造裝備 及系統，具有感知、分析、推理、決策等可適應協調智能控制功能，能顯著過濾掉精密成形 過程中控制參數的波動，有效保證精密成形產品的可靠性和性能一致性，實現了面向用戶需 求的高性能傳動件大規模優質高效生產。 該成果在高精度、高剛度、高可靠、長壽命、低噪聲、無污染、智能化、高功率密度等 高性能傳動件及系統的創新設計制造理論和方法，特別是在高精度與高可靠的協調、高剛度 與高精度的協調、特殊與極端環境下摩擦學與動力學優化、精密加工制造及產品可靠性與性 能一致性等關鍵技術方面有重大突破，取得了多項具有自主知識產權的重要創新成果，獲國 家授權發明專利38項、軟件著作權3項，發表論文165篇（SCI、EI收錄128篇），被有 關部門組織專家會議鑒定為國際領先水平，并分別獲得重慶市和教育部技術發明一等獎。 該成果對打破工業發達國家的技術壟斷和封鎖，滿足我國對高性能核心基礎部件及系統 的重大需求創造了關鍵科技條件，其成果已應用于中國航天科技和中國船舶重工等100多 個單位有關重要裝備，創造性地解決了中航工業XX公司多個規格型號產品失效問題，并為航天工程XX項目成功實施提供了理論與技術支撐，產品性能指標達到并部分超過美國 MIL-DTL-17901C軍用標準，合格率100%,提高生產率170%,節約用電85%,節省貴重 原材料46%,出口歐美等30多個國家。近三年累計銷售額26878萬元，利潤4626萬元， 稅收1591萬元，取得巨大經濟和社會效益，有望發展為高端裝備制造業與新的經濟增長點。 

本發明提供了一種小型精密調平裝置，包括支撐平臺，支撐平臺螺紋聯接主調整螺桿，主調整螺桿上端端部伸出且緊靠支撐平臺上表面連接球鉸支座，主調整螺桿下端伸出支撐平臺下表面螺紋連接大錐齒輪，大錐齒輪與小錐齒輪相咬合，小錐齒輪的側部通過驅動軸連接手輪，大錐齒輪的底部連接彈簧預緊組件，主調整螺桿下端端部螺紋副連接主鎖緊組件。本發明能快速完成重載工況下的部件調平，同樣適用于載荷不對稱情況下的調平，且裝置結構簡單，小巧，調整方便靈活，可成組使用以便于較大平面的調平。

低噪聲精密運算放大器是現代無線通信雷達電子對抗系系統的前端，在放大信號的同時抑制噪聲干擾.提高系統靈敏度。船舶和電子信息等各大軍工系統的重點型號中均有應用。