基于干涉條紋形狀的二維小角度測(cè)量裝置
研發(fā)階段/n本發(fā)明公開了一種基于干涉條紋形狀的二維小角度測(cè)量裝置,屬于精密測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域。該裝置包括激光器、分光鏡、目標(biāo)反射鏡、參考反射鏡和四象限接收器,目標(biāo)反射鏡固定在被測(cè)物體上。激光調(diào)制器對(duì)激光器發(fā)出的光束進(jìn)行調(diào)制,被調(diào)制的光束經(jīng)分光鏡后分為兩束,這兩束光分別經(jīng)目標(biāo)反射鏡和參考反射鏡反射后再返回分光鏡,會(huì)聚產(chǎn)生動(dòng)態(tài)干涉條紋,當(dāng)被測(cè)物體繞z軸有角度變化時(shí),動(dòng)態(tài)干涉條紋的寬度將發(fā)生變化,當(dāng)被測(cè)物體繞x軸有角度變化時(shí),動(dòng)態(tài)干涉條紋的寬度和方向同時(shí)改變。動(dòng)態(tài)干涉條紋用四象限光電接收器接收后轉(zhuǎn)為電信號(hào),該信
湖北工業(yè)大學(xué)
2021-01-12