一種包覆超細粉體的原子層沉積方法與裝置
本發(fā)明公開了一種包覆超細粉體的原子層沉積方法與裝置,該方法的特征在于,在前驅體的吸附過程中引入了流化氣,利用流化氣吹散粉體,實現(xiàn)粉體的充分分散。該裝置包括反應腔體,供應系統(tǒng),真空系統(tǒng),加熱系統(tǒng),監(jiān)測系統(tǒng)和控制系統(tǒng),其特征在于,供應系統(tǒng)包括流化氣源,流化氣通過流化氣輸送支路進入反應腔體,用于將粉體吹散到整個反應區(qū)域。本發(fā)明的方法與裝置能有效提高粉體包覆率與沉積均勻性,并使得在每次沉積過程中對大量粉體進行包覆成為可能,提高了粉體包覆的效率。
華中科技大學
2021-04-14