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半導(dǎo)體設(shè)備超潔凈流控系統(tǒng)及其受制約流控零部件
浙江大學(xué)聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關(guān)鍵核心技術(shù)
一、項目分類
關(guān)鍵核心技術(shù)突破
二、技術(shù)分析
如何通過超潔凈流控技術(shù)降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產(chǎn)高端半導(dǎo)體制造裝備研制面臨的重大挑戰(zhàn)，直接關(guān)乎整機(jī)產(chǎn)品的產(chǎn)線應(yīng)用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導(dǎo)體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導(dǎo)體制造裝備產(chǎn)業(yè)面臨核心零部件“卡脖子”風(fēng)險。浙江大學(xué)流體動力與機(jī)電系統(tǒng)國家重點實驗室啟爾團(tuán)隊所承擔(dān)的高端半導(dǎo)體制造裝備核心分系統(tǒng)之一的超潔凈流控系統(tǒng)，自2004年以來在國家863計劃和國家02專項支持，聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關(guān)鍵核心技術(shù)，完成了超潔凈流控系統(tǒng)九大組件的研制和集成測試，為半導(dǎo)體制造設(shè)備掃描速度與產(chǎn)能的提高提供基礎(chǔ)理論與方法依據(jù)，同時自主研發(fā)的半導(dǎo)體機(jī)臺核心超潔凈流控零部件實現(xiàn)了產(chǎn)品化，突破了國外技術(shù)的封鎖，為我國半導(dǎo)體制造的發(fā)展與自主創(chuàng)新提供了基礎(chǔ)支撐。
浙江大學(xué)
2022-07-22
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服務(wù)三農(nóng)的安全可靠電子交易關(guān)鍵技術(shù)研究和應(yīng)用
本成果針對我國農(nóng)村幅員廣大、信息基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)薄弱、難以推廣電子交易的現(xiàn)狀，積極響應(yīng)國家“三農(nóng)”戰(zhàn)略，研制適合農(nóng)村應(yīng)用環(huán)境的電子交易平臺、交易終端和專用芯片，形成了服務(wù)三農(nóng)的整套電子交易解決方案，為農(nóng)村金融業(yè)務(wù)提供了創(chuàng)新電子交易產(chǎn)品，成為中國農(nóng)業(yè)銀行等金融機(jī)構(gòu)服務(wù)“三農(nóng)”的新型支付渠道。
成果基于多學(xué)科交叉和創(chuàng)新集成的技術(shù)路線，首創(chuàng)了基于瘦客戶端型B-C/S架構(gòu)的低成本、易維護(hù)金融交易平臺和交易終端；通過專用芯片降低了終端成本，提高了終端可靠性。項目申請發(fā)明專利6項，已授權(quán)16項，其創(chuàng)新點解決了電子交易終端應(yīng)用于我國農(nóng)村復(fù)雜環(huán)境下的成本、維護(hù)、安全、可靠性等諸多關(guān)鍵技術(shù)問題，技術(shù)水平達(dá)到國際先進(jìn)，國內(nèi)領(lǐng)先。該成果榮獲2011年江蘇省科技進(jìn)步一等獎。
東南大學(xué)
2025-02-06
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優(yōu)質(zhì)高產(chǎn)蛋雞新品種（配套系）培育及應(yīng)用
項目成果/簡介:本發(fā)明涉及家禽育種技術(shù),特別涉及一種高產(chǎn)土種蛋雞的培育方法,其方法包括:F系培育:用貴妃雞與羅曼蛋雞父母代的合成系與貴妃雞回交,獲得含有75%貴妃雞血緣的基礎(chǔ)群品系,再進(jìn)行連續(xù)四個世代的選育;M系培育:用貴妃雞與羅曼蛋雞父母代雜交獲得含有50%貴妃雞血緣的基礎(chǔ)群品系,再進(jìn)行連續(xù)四個世代的選育;配套系生產(chǎn)商品代:以F系為父母代父本,M系為父母代母本,所得雜交后代采用翻肛法性別鑒定,母雛即為商品代蛋雞.本方法可培育產(chǎn)蛋量高,蛋品質(zhì)量優(yōu)良的土種蛋雞新品種(配套系),商品蛋雞72周入舍產(chǎn)蛋量達(dá)235枚以上,比純種土蛋雞提高約50%;商品雞蛋具有土雞蛋的外觀品質(zhì),蛋白品質(zhì)和風(fēng)味特性.
安徽農(nóng)業(yè)大學(xué)
2021-04-10
優(yōu)質(zhì)高產(chǎn)蛋雞新品種（配套系）培育及應(yīng)用
本發(fā)明涉及家禽育種技術(shù),特別涉及一種高產(chǎn)土種蛋雞的培育方法,其方法包括:F系培育:用貴妃雞與羅曼蛋雞父母代的合成系與貴妃雞回交,獲得含有75%貴妃雞血緣的基礎(chǔ)群品系,再進(jìn)行連續(xù)四個世代的選育;M系培育:用貴妃雞與羅曼蛋雞父母代雜交獲得含有50%貴妃雞血緣的基礎(chǔ)群品系,再進(jìn)行連續(xù)四個世代的選育;配套系生產(chǎn)商品代:以F系為父母代父本,M系為父母代母本,所得雜交后代采用翻肛法性別鑒定,母雛即為商品代蛋雞.本方法可培育產(chǎn)蛋量高,蛋品質(zhì)量優(yōu)良的土種蛋雞新品種(配套系),商品蛋雞72周入舍產(chǎn)蛋量達(dá)235枚以上,比純種土蛋雞提高約50%;商品雞蛋具有土雞蛋的外觀品質(zhì),蛋白品質(zhì)和風(fēng)味特性.
安徽農(nóng)業(yè)大學(xué)
2021-04-29
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新型 N-P-S 膨脹型磷系阻燃劑
膨脹型阻燃劑(IFR)一般是以 P、N、C 為主要核心成分的復(fù)合 阻燃劑(或單體阻燃劑)，可用于多種易燃聚合物的阻燃。膨脹型阻 燃劑作為一類高效低毒的環(huán)保型阻燃劑，被公認(rèn)為是實現(xiàn)阻燃劑無 鹵化的有效途徑之一，因此在高分子材料阻燃領(lǐng)域中極具應(yīng)用潛力。我們將 N、P、S 三種有效阻燃元素組裝于單一分子內(nèi)，設(shè)計出 一類新型分子內(nèi)協(xié)效膨脹型阻燃劑。該類阻燃劑在 PC+ABS 工程塑 料中少量添加即可以實現(xiàn)高效阻燃，具有環(huán)保低毒，阻燃效果好等 優(yōu)點。 項目特色： 利用有機(jī)合成的方法合成一系列適應(yīng)市場需求的新型膨脹型 N- P-S 磷系阻燃劑，目前已經(jīng)研發(fā)成功的品種包括“六（4-甲氧基苯磺酸 鈉）環(huán)三磷腈”，“ 六（4-氨基苯磺酸鈉）環(huán)三磷腈”，“ 六（2-氨基乙 磺酸鈉）環(huán)三磷腈”等，生產(chǎn)工藝科學(xué)，環(huán)保高效，生產(chǎn)過程簡單，生 產(chǎn)成本低。
南開大學(xué)
2021-04-13
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新 型 智 慧 城 市 建 設(shè) 監(jiān) 管 系 統(tǒng)
本系統(tǒng)可以高效準(zhǔn)確掌握在建房屋建設(shè)工程的實施狀況，有 效保障城市房屋建設(shè)工程的順利開展。同時，基于多期高分遙感 影像，利用變化檢測識別技術(shù)，可以動態(tài)監(jiān)管違章房的狀況，對 城市建設(shè)進(jìn)行智慧監(jiān)測和管理，該系統(tǒng)建立對于促進(jìn)我國城鎮(zhèn)化 的健康發(fā)展和城市的可持續(xù)發(fā)展具有重要意義。
安徽建筑大學(xué)
2021-01-12
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B/N 摻雜型 Al-Ti-C 系晶種合金
鋁合金結(jié)晶組織的微細(xì)化會顯著提高鋁材的強(qiáng)韌性、組織均勻性、致密性、 耐蝕性、加工工藝性和表面質(zhì)量等，并減少偏析和裂紋等諸多鑄造缺陷。目前， 國內(nèi)外通常采用 Al-Ti-B 或 Al-Ti-C 中間合金來細(xì)化晶粒，但 Al-Ti-B 中間合金 126 的形核襯底質(zhì)點 TiB2 本身的直徑大小在 0.5-3.0μm，而且往往以較大的聚集團(tuán) 形式存在，如此大的顆粒團(tuán)在加入到鋁合金中后會帶來一系列的副作用。而普 通 Al-Ti-C 中間合金細(xì)化效果不穩(wěn)定，易衰退，難以滿足鋁制品產(chǎn)品質(zhì)量的要 求。 Al-Ti-C 中間合金之所以細(xì)化效果不穩(wěn)定和容易衰退，是由于其中的 TiCx 晶體存在較多碳空位，從而使之失穩(wěn)，且隨 TiCx中碳空位數(shù)量的增加，Al 原子 在 TiCx 表面的偏聚及有序化受到抑制，由原來的完全共格逐漸轉(zhuǎn)變?yōu)椴煌耆?格。因此，減少 TiCx中的碳空位是提高其結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性和生核效率的關(guān)鍵。 研究表明，無空位的 TiC 是鋁的有效生核襯底，在接近凝固點的鋁熔體中， Al 原子能夠依附于其周圍形成一個完全共格的有序區(qū)，最終促進(jìn) α-Al 生核和鋁 晶粒細(xì)化。經(jīng)過長期的研究和探索發(fā)現(xiàn)，TiCx 中的碳空位可以被原子半徑較小 的 B、N 等原子填充，最終形成摻雜型的 TiCxB1-x和 TiCxN1-x等粒子，從而降低 空位濃度并提高異質(zhì)生核能力。 B 摻雜型 Al-Ti-C 晶種合金中含有大量直徑在 1μm 以下（亞微米）的 TiCxB1-x 晶核襯底粒子，且彌散分布，當(dāng)將該中間合金以微量（0.15%左右）加 入到待細(xì)化的鋁及其合金熔體中后，立即釋放出大量的亞微米級的摻雜型 TiC 晶核，從而使待細(xì)化鋁合金的晶粒組織得到顯著細(xì)化甚至超細(xì)化（指晶粒直徑 在微米級）。因此，采用摻雜型 Al-Ti-C 晶種合金對鋁熔體進(jìn)行晶粒細(xì)化處理 將是鋁加工行業(yè)又一次重要的技術(shù)進(jìn)步。
山東大學(xué)
2021-04-13
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柑橘系列新品種（系）培育及配套栽培技術(shù)
可以量產(chǎn)/n成果簡介：近年來，中國工程院院士鄧秀新教授率領(lǐng)的研究團(tuán)隊通過自主創(chuàng)新與引進(jìn)相結(jié)合，以國家柑橘育種中心為依托，保存柑橘無病毒良種100多個，包括臍橙、寬皮橘、雜柑、柚子、葡萄柚、檸檬等類型，自主培育了10多個優(yōu)質(zhì)柑橘新品種，在湖北省等8個主產(chǎn)區(qū)覆蓋率達(dá)到80％以上，每年向柑橘生產(chǎn)基地提供10多萬棵脫毒優(yōu)質(zhì)種苗和10多萬枝接穗。與此同時，該團(tuán)隊積極開展新品種及配套栽培技術(shù)研究，為我國江西贛南、湖北宜昌等柑橘主產(chǎn)區(qū)提供技術(shù)支撐，先后開發(fā)出橘園生草栽培、臍橙留樹保鮮、柑橘設(shè)施栽培、大苗預(yù)植栽培等
華中農(nóng)業(yè)大學(xué)
2021-01-12
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丙烯酸系共聚物分散劑的開發(fā)
? 本技術(shù)是北京理工大學(xué)承擔(dān)的國家“十五”科技攻關(guān)計劃課題“農(nóng)藥水分散粒劑（WDG）的共性技術(shù)開發(fā)”的一部分，研究成果如下：（1）已完成丙烯酸系共聚物鹽分散劑的合成及工藝條件的優(yōu)化工作，并與北京廣源益農(nóng)化學(xué)責(zé)任有限公司合作完成了產(chǎn)品的中試生產(chǎn)，并將在國家“十一五”攻關(guān)計劃的支持下進(jìn)行產(chǎn)業(yè)化開發(fā)。其中丙烯酸共聚物鹽分散劑在合成工藝上有創(chuàng)新，并填補(bǔ)了我國在相應(yīng)的農(nóng)藥WDG專用高分子分散劑的空白，產(chǎn)品性能達(dá)到國外類似產(chǎn)品的水平。（2）采用合成的丙烯酸共聚物鹽分散劑，并結(jié)合國產(chǎn)的其它一些助劑和填料
北京理工大學(xué)
2021-01-12
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新型硫系玻璃制備關(guān)鍵技術(shù)及產(chǎn)業(yè)化
瞄準(zhǔn)國民經(jīng)濟(jì)和現(xiàn)代國防建設(shè)對關(guān)鍵紅外材料及光器件的迫切需求，開展新型紅外硫系玻璃組成設(shè)計、大尺寸硫系玻璃制備工藝、硫系玻璃高效生產(chǎn)技術(shù)研究及工藝穩(wěn)定性控制研究。
一、項目分類
關(guān)鍵核心技術(shù)突破
二、成果簡介
瞄準(zhǔn)國民經(jīng)濟(jì)和現(xiàn)代國防建設(shè)對關(guān)鍵紅外材料及光器件的迫切需求，開展新型紅外硫系玻璃組成設(shè)計、大尺寸硫系玻璃制備工藝、硫系玻璃高效生產(chǎn)技術(shù)研究及工藝穩(wěn)定性控制研究。“新型紅外硫系玻璃制備關(guān)鍵技術(shù)及應(yīng)用”獲2014年國家技術(shù)發(fā)明二等獎。
在此基礎(chǔ)上，團(tuán)隊繼續(xù)開發(fā)了多種新型硫系玻璃，包括：覆蓋可見-近紅外-中遠(yuǎn)紅外波段的新型紅外夜視儀用多光譜硫系玻璃，可用于溫度自適應(yīng)的地折射率溫度系數(shù)硫系玻璃，用于高質(zhì)量紅外熱像儀的低色散硫系玻璃等優(yōu)良玻璃組成。近5年承擔(dān)了包括國家重點研發(fā)計劃和國家自然基金重點基金在內(nèi)的國家級項目5項，授權(quán)發(fā)明專利20 件；主持制定國家標(biāo)準(zhǔn)3項，參與制定國家標(biāo)準(zhǔn)2項。
寧波大學(xué)
2022-08-16