非球面非零位干涉檢測中部分補償透鏡對準裝置與方法
本發明公開了一種非球面非零位干涉檢測中部分補償透鏡對準裝置與方法。它由激光器出射的細光束經準直擴束系統后被擴束為平行寬光束,平行光入射至鍍有半反半透膜的分光板后,一部分入射光被反射,反射光束被平面參考鏡反射后再次返回分光板;另一部分入射光被透射,透射光束向前傳播入射至輔助對準平板后返回;返回的反射光和返回的透射光在分光板處相遇發生干涉,形成干涉圖,經成像系統后成像于探測器處;調節對準平板與部分補償透鏡相對于入射光的傾斜度,使探測器得到零條紋干涉圖,移去對準平板,實現部分補償透鏡的傾斜對準。本發明解決了非球面非零位干涉檢測中部分補償透鏡對準誤差問題,減少了其誤對準對檢測結果引入的調整誤差。
浙江大學
2021-04-11