晶體材料大尺寸、定晶向放電切割技術(shù)
合作的企業(yè)類型等。簡介請圖文并茂,字?jǐn)?shù)1000字以內(nèi)。) 近年來,在國家自然基金、江蘇省自然基金、航空基金以及國防預(yù)研、國家新能源產(chǎn)業(yè)化專項、江蘇省科技成果轉(zhuǎn)化等項目資助下,本課題組進行了在半導(dǎo)體晶體材料加工上實現(xiàn)了大尺寸(600mm)、高尺寸精度(5μm)、定晶向(0.3分)、低損耗、低成本的集成技術(shù)優(yōu)勢,成為國內(nèi)外首個在半導(dǎo)體晶體放電切割上實現(xiàn)重大突破和技術(shù)應(yīng)用的研究團隊,多項研究成果已經(jīng)獲得或即將獲得重要應(yīng)用。 本課題組在特種加工、微細(xì)加工、激光加工、再制造等方面開
南京航空航天大學(xué)
2021-04-14