硅光子平臺(tái)開(kāi)發(fā)
已有樣品/n成功開(kāi)發(fā)了系列硅光子流片工藝模塊和初版PDK,其中標(biāo)準(zhǔn)單元庫(kù)主要包括單模波導(dǎo)、Y-分支、光交叉器、耦合光柵等無(wú)源器件,而最近有源工藝的成功開(kāi)發(fā),將向標(biāo)準(zhǔn)單元庫(kù)中添加加熱電極、調(diào)制器和Ge 光電探測(cè)器等有源器件。此次有源器件流片的成功,加上先導(dǎo)中心2016年上半年開(kāi)發(fā)成功的硅光子無(wú)源工藝及器件(圖3),使微電子所硅光子平臺(tái)已具有為業(yè)界提供基于180nm工藝的硅光子流片服務(wù)的能力,成為國(guó)內(nèi)首個(gè)基于8英寸CMOS工藝線向用戶
中國(guó)科學(xué)院大學(xué)
2021-01-12