微型集成式固體電解質(zhì)環(huán)境監(jiān)測(cè)氣體傳感器
一、項(xiàng)目簡(jiǎn)介隨著工業(yè)化進(jìn)程的加速推進(jìn),人類社會(huì)各方面的發(fā)展對(duì)化石燃料的消耗與日俱增,而由此產(chǎn)生的大氣環(huán)境污染問(wèn)題也愈發(fā)嚴(yán)重,對(duì)人類的生存和健康、自然生態(tài)環(huán)境造成極大的損害。基于固體電解質(zhì)的氣體傳感器,結(jié)合先進(jìn)的 MEMS 和鍍膜技術(shù),對(duì)于 CO 、SO 等污染性氣體濃度的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)、防治十分重要。22項(xiàng)目以 Li3PO 、Li3PO -Li SiO 薄膜固體電解質(zhì)薄膜作為導(dǎo)電介質(zhì),研制 CO 、34422SO 等環(huán)境監(jiān)測(cè)氣體傳感器。通過(guò)固體電解質(zhì)薄膜的 CO 、SO 氣體傳感器的響應(yīng)222原理分析,設(shè)計(jì)了集成式環(huán)境監(jiān)測(cè)氣體傳感器,選擇了合適的反應(yīng)電極材料,結(jié)合 MEMS 薄厚膜工藝,采用熱阻蒸發(fā)鍍膜工藝沉積 Li PO 固體電解質(zhì)薄膜,絲網(wǎng)34印刷厚膜技術(shù)制備反應(yīng)電極和加熱電極,完成了集成式微型 CO 、SO 氣體傳感器22的研制、封裝、測(cè)試,為工業(yè)應(yīng)用奠定了基礎(chǔ)。微型氣體傳感器可實(shí)現(xiàn) CO 和 SO22氣體的高精度監(jiān)測(cè),并具有體積小、功耗低、成本低的特點(diǎn)。西安交通大學(xué)國(guó)家技術(shù)轉(zhuǎn)移中心二、技術(shù)指標(biāo)(性能參數(shù))芯片尺寸封裝方式1.6mm x 1.8mmTO 封裝檢測(cè)范圍測(cè)量誤差工作電壓傳感
西安交通大學(xué)
2021-04-10