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光掩膜版(又稱光罩，掩膜版，英文 Photo-mask )是芯片制作中實現(xiàn)設(shè)計圖形轉(zhuǎn)移的載體，是決定其微細(xì)結(jié)構(gòu)和線寬精度的核心材料和工具。 目前中國半導(dǎo)體掩膜版的國產(chǎn)化率10%左右，90%需要進口，高端掩膜版國產(chǎn)化率3%，miniLED和microLED產(chǎn)業(yè)升級也需要更多高端掩膜版。隨著中國市場需求的持續(xù)提升，掩膜版產(chǎn)能嚴(yán)重不足。并且中國半導(dǎo)體掩膜版的產(chǎn)業(yè)起步較晚，技術(shù)滯后，核心技術(shù)和裝備基本讓國外公司壟斷，特別是在設(shè)備、材料領(lǐng)域眾多技術(shù)處于“卡脖子”狀態(tài)，例如掩膜版制造的核心裝備光刻機、檢測機、測量機、修復(fù)機和貼膜機等都依賴進口，嚴(yán)重制約中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。華中科技大學(xué)徐智謀教授團隊致力于全套高端半導(dǎo)體光掩膜版的關(guān)鍵核心技術(shù)研發(fā)與量產(chǎn)，為“卡脖子”技術(shù)研究而努力。 具有建立180 nm技術(shù)節(jié)點半導(dǎo)體掩膜版量產(chǎn)線相關(guān)核心技術(shù)；具備130 nm至28 nm半導(dǎo)體掩膜版研發(fā)、設(shè)計及驗證能力。主要研究成果如下： 1） 工藝突破 團隊掌握了掩膜版MEMS微納加工量產(chǎn)核心技術(shù)，如電子束光刻、激光光刻和納米壓印光刻等MEMS微納加工工藝的各類技術(shù)參數(shù)的搭配和優(yōu)化，以及大數(shù)據(jù)量軟件快速處理、補償?shù)取? 2） 裝備國產(chǎn)化 A. 超高精度二維測量裝備 尺寸測量是驗證掩膜版技術(shù)指標(biāo)的核心，主要包括關(guān)鍵尺寸測量(CD)和長尺寸測量(TP)。團隊已掌握掩膜版的關(guān)鍵測量技術(shù)，達(dá)到國內(nèi)先進水平，具有整套設(shè)備的整機制造能力。 TP測量是掩膜版制作的核心指標(biāo)，直接影響到客戶的套合精度，該測量設(shè)備一直由國外極少數(shù)廠商壟斷，且價格昂貴，一般在1000萬美元以上，高端限制對中國出口。團隊目前正在攻克該項技術(shù)，已取得階段性成果。 B. 缺陷修復(fù)裝備 掩膜版修補技術(shù)是提升良品率的關(guān)鍵手段，該技術(shù)一直為國外壟斷。團隊已熟練掌握UV、DUV激光化學(xué)沉積技術(shù)及皮秒飛秒激光金屬處理技術(shù)，具備整機制造能力，可降低設(shè)備采購成本70%以上。 C. Pellicle自動貼膜裝備 隨著產(chǎn)品精度的提升和應(yīng)用領(lǐng)域的高端化，掩膜版貼膜是個不可缺少的重要環(huán)節(jié)。在IC制造領(lǐng)域100%掩膜版需貼Pellicle，在IC封裝領(lǐng)域90%以上需貼膜，在LED領(lǐng)域80%以上需貼膜。該貼膜設(shè)備一直國外公司壟斷，國內(nèi)廠家沒有提供，國外采購全自動貼膜設(shè)備需100萬美元左右。團隊具備研發(fā)制造該設(shè)備的能力，貼膜精度±0.1mm,且有設(shè)備正式在產(chǎn)線運營，制造成本可節(jié)約90%以上。 3） 廠房建設(shè)關(guān)鍵技術(shù) 團隊對MEMS及其掩膜工廠工藝設(shè)備廠務(wù)設(shè)計有豐富經(jīng)驗，掌握高等級防微震廠房結(jié)構(gòu)和設(shè)備平臺的設(shè)計施工，可達(dá)到VC-D級技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)，滿足納米級生產(chǎn)技術(shù)要求。 【技術(shù)優(yōu)勢】 （1）掌握了高性價比掩膜版量產(chǎn)的關(guān)鍵核心技術(shù)，包括部分裝備的國產(chǎn)化，解決“卡脖子”技術(shù)難題，量產(chǎn)線建設(shè)成本節(jié)約30%以上； （2）具備28 nm及以下技術(shù)節(jié)點掩膜版設(shè)計開發(fā)能力和驗證平臺，驗證周期可縮短3倍； （3）擁有一支20多年以上掩膜版量產(chǎn)、研發(fā)和銷售經(jīng)驗的隊伍，成熟的企業(yè)管理經(jīng)驗，保證企業(yè)穩(wěn)步成長，確保投資風(fēng)險可控。 【合作方式】 股權(quán)投資合作共建或政府孵化+中試線。

光伏組件生產(chǎn)仿真實訓(xùn)讓學(xué)員以車間技術(shù)人員的身份參與晶硅光伏組件的生產(chǎn)工作。學(xué)員按標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)流程操作車間生產(chǎn)設(shè)備、檢測生產(chǎn)樣品以及了解生產(chǎn)車間的運作與問題返工流程。 一.1.1. 場景設(shè)計 場景由組件生產(chǎn)車間、材料準(zhǔn)備區(qū)、固化房、分選檢測區(qū)組成。場景素材從多個真實工廠采集而來，高保真還原車間設(shè)備與生產(chǎn)流程 場景模型主要包括：流水線傳送帶、全自動玻璃吸附機、EVA自動鋪設(shè)機、串焊機、排列機、自動緩存機、EVA/TPT裁剪鋪設(shè)機、EL檢測儀、層壓機、全自動修邊機、翻轉(zhuǎn)檢查機、全自動裝框機、灌膠機、全自動固化房、絕緣檢測儀、組件IV分選檢測儀、電烙鐵。材料模型包括：鋼化玻璃、EVA、TPT、焊帶、156多晶太陽電池片、鋁合金邊框、玻璃膠、接線盒、助焊劑、MC4接頭等... 一.1.2. 互動設(shè)計 第一人稱視角控制主角場景漫游，學(xué)員可以在三維空間中自由活動和觀察場景中的物體。 主角走到生產(chǎn)線相關(guān)崗位內(nèi)，出現(xiàn)信息提示，點擊彈出全息UI，動態(tài)圖文與人工智能語音相結(jié)合提示關(guān)鍵知識點 與車間工程師對話了解生產(chǎn)相關(guān)知識 學(xué)員可操作車間里的檢測設(shè)備，發(fā)現(xiàn)問題并進行問題組件返工。

光伏組件質(zhì)量檢測仿真實訓(xùn)讓學(xué)員在虛擬場景中學(xué)習(xí)根據(jù)IEC61215標(biāo)準(zhǔn)使用各種檢測設(shè)備對組件進行質(zhì)量檢測，從而了解組件的關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)以及發(fā)現(xiàn)組件典型缺陷。 一.1.1. 場景設(shè)計 根據(jù)IEC61215檢測標(biāo)準(zhǔn)要求設(shè)計18個檢測場景，包括： 1 組件外觀檢測實驗室 2 最大功率檢測實驗室 3 絕緣檢測實驗室 4 溫度系統(tǒng)檢測實驗室 5 標(biāo)稱工作溫度檢測實驗室 6 STC和NOCT下的性能檢測實驗室 7 低輻照度下的性能檢測實驗室 8 室外曝曬試驗場 9 熱斑耐久試驗室 10 紫外線試驗室 11 熱循環(huán)實驗室 12 濕凍試驗室 13 濕熱試驗室 14 牽引力實驗室 15 濕漏電實驗室 16 機械載荷實驗室 17 冰雹撞擊實驗室 18 旁路二級管試驗室 場景模型主要包括：實驗室建筑場景、外觀檢測臺、156多晶光伏組件、組件箱、工作臺、電腦、組件支架、IV檢測儀、EL檢測儀、高低溫濕熱交變試驗箱、濕漏電流測試儀及噴淋試驗箱、鹽霧腐蝕儀、紫外老化試驗箱、機械載荷試驗機、旁路二極管熱性能試驗儀、落球沖擊測試裝置、環(huán)境檢測儀、室外環(huán)境監(jiān)測儀、直流電源、萬用表、光度計、數(shù)碼相機等...

托布帶：克重4600g/㎡，厚度10mm 吸油氈：厚度10~20mm 適用于：人造毛皮行業(yè)，毛紡行業(yè)，燙光機、燙剪機以及各類進口、國產(chǎn)機械以上產(chǎn)品規(guī)格根據(jù)客戶需求均可定制。

        技術(shù)成熟度：技術(shù)突破         目前的潮流能發(fā)電機組以直驅(qū)液壓變槳及帶變速箱的液壓變槳為主，其發(fā)電機和變速箱均采取機械動密封方式進行密封防水處理，海洋環(huán)境下，機械動密封的可靠性和運行效率往往沖突，密封層級多運行阻力大，效率低，密封層級少，密封可靠性差，機組的運行可靠性大大降低。光伏、波浪、海流一體化集成發(fā)電，波浪能與海流能水輪機對轉(zhuǎn)并通過磁力耦合驅(qū)動發(fā)電機增速，具有多能互補、高效獲能、轉(zhuǎn)換效率高、結(jié)構(gòu)簡單、運行可靠等特點，為規(guī)模化海洋能開發(fā)提供創(chuàng)新型設(shè)計。         意向開展成果轉(zhuǎn)化的前提條件：中試放大及產(chǎn)業(yè)化工藝開發(fā)資金支持

?  成果簡介：電流變技術(shù)是利用某種特殊懸浮液體在受到外加電場作用時其流變性能改變的特性。這一特性在發(fā)動機及其它工作平臺的隔振控制方面有著明顯的工程應(yīng)用前景，它能夠以振動的頻率和振幅適時改變隔振器的動剛度和阻尼力，傳統(tǒng)的橡膠隔振器不能滿足隔振方面的所有要求。主動液力隔振器比橡膠隔振器有較好的特性，特別是在低頻范圍內(nèi)。其次它可以擴大隔振器的頻率工作范圍，通過選用合適的電流變液體，既可以滿足低頻下的隔振要求，也可達(dá)到高頻下隔振的目的。主動式發(fā)動機支座系統(tǒng)能夠在振動的低頻階段表現(xiàn)出剛度

金屬橡膠，是一種由細(xì)金屬絲經(jīng)纏繞、拉伸、鋪放及模壓制成且具有橡膠般高彈性、大阻尼的新型減振材料，故取名為金屬橡膠。金屬橡膠產(chǎn)品為全金屬材料制成，具有極佳的環(huán)境適應(yīng)性和可靠性，可在各種惡劣環(huán)境下工作，耐腐蝕，不發(fā)生老化，性能穩(wěn)定，能為各種電子設(shè)備提供隔振、緩沖，保證各精密電子設(shè)備正常工作。金屬橡膠隔振器的性能經(jīng)過國家權(quán)威部門的檢測：達(dá)到國家規(guī)定的振動量級和頻率范圍內(nèi)，不僅具有良好的隔振緩沖特性，而且還具有極其優(yōu)異的抗疲勞特性。經(jīng)過多年應(yīng)用，金屬橡膠隔振器產(chǎn)品已經(jīng)形成系列化，可用于0.05kg~5000kg設(shè)備的隔振。

無諧振隔振器是基于干摩擦阻尼理論設(shè)計生產(chǎn)的高性能隔振裝置，其主要運用于在各種復(fù)雜、惡劣運行環(huán)境的軍用電子設(shè)備、礦山機械的隔振、緩沖。產(chǎn)品為全金屬材料制成，具有極佳的環(huán)境適應(yīng)性和可靠性，可在各種惡劣環(huán)境下工作，耐腐蝕，不發(fā)生老化，性能穩(wěn)定，能為各種電子設(shè)備提供隔振、緩沖，保證各精密電子設(shè)備正常工作。無諧振隔振器的性能經(jīng)過國家權(quán)威部門的檢測：達(dá)到國家規(guī)定的振動量級和頻率范圍內(nèi)，不僅具有不出現(xiàn)共振的隔振特性，而且還具有優(yōu)異的緩沖特性。經(jīng)過多年應(yīng)用，無諧振隔振器產(chǎn)品已經(jīng)形成系列化，可用于1kg~2000kg設(shè)備的隔振。

電流變技術(shù)是利用某種特殊懸浮液體在受到外加電場作用時其流變性能改變的特性。這一特性在發(fā)動機及其它工作平臺的隔振控制方面有著明顯的工程應(yīng)用前景，它能夠以振動的頻率和振幅適時改變隔振器的動剛度和阻尼力，傳統(tǒng)的橡膠隔振器不能滿足隔振方面的所有要求。主動液力隔振器比橡膠隔振器有較好的特性，特別是在低頻范圍內(nèi)。其次它可以擴大隔振器的頻率工作范圍，通過選用合適的電流變液體，既可以滿足低頻下的隔振要求，也可達(dá)到高頻下隔振的目的。主動式發(fā)動機支座系統(tǒng)能夠在振動的低頻階段表現(xiàn)出剛度更強而在高頻階段更軟的特性，主動式發(fā)動機隔振系統(tǒng)一直被認(rèn)為是下一代發(fā)動機主要的隔振應(yīng)用目標(biāo)。應(yīng)用電流變技術(shù)開發(fā)的發(fā)動機主動式隔振器將是最簡單、成本最低廉的隔振系統(tǒng)。目前電流變隔振器能達(dá)到的主要技術(shù)指標(biāo)是:低頻階段(10Hz以下)其動剛度和阻尼力有明顯的改變，對于其在高頻階段的工作特性正在進一步研究中。

本仿真實訓(xùn)要求學(xué)員根據(jù)常見60KW以下小型分布式光伏電站項目需求書要求，到現(xiàn)場進行測量、采集項目所需數(shù)據(jù)，然后回到辦公室使用設(shè)計軟件進行項目設(shè)計，并且做出系統(tǒng)分析結(jié)果、施工圖以及施工材料清單。 1.1. 場景設(shè)計 虛擬場景包括辦公設(shè)計場景，樓頂建筑場景； 場景模型主要包括：辦公室建筑模型、辦公家具、辦公設(shè)備、長度測量工具、方向測量工具、樓頂建筑模型等 設(shè)計軟件模擬包括：陰影陣列分析軟件、CAD制圖軟件、傾角分析軟件、系統(tǒng)分析模擬軟件 1.2. 互動設(shè)計 在辦公室里使用電腦了解項目需求書，根據(jù)提供的信息收集項目所在位置的地理與環(huán)境信息 到現(xiàn)場使用長度與方向測量工具測量設(shè)計所需數(shù)據(jù) 回辦公室使用各種專業(yè)設(shè)計軟件對該項目進行系統(tǒng)設(shè)計。