一種超硬非晶碳薄膜的制備裝置和工藝
項(xiàng)目為一種超硬的非晶四面體碳(ta-c)薄膜的制備裝置和工藝,該薄膜具有極好的物理化學(xué)特性,在碳基薄膜中,是目前國際上公認(rèn)的SP3鍵含量最高,超過85%,特性最接近天然金剛石的薄膜,硬度達(dá)到HV≥85Gpa,可見光和紅外光透明,透光率達(dá)97%,吸收紫外光,達(dá)98%,薄膜均勻性好,薄膜平整度達(dá)0.2nm,摩擦系數(shù)≤0.08,電阻率達(dá)(1012Ω·cm),擊穿電壓3.5×106,(),熱導(dǎo)率18(),密度3.5(g/cm3),薄膜致密耐腐蝕作用極好。 該項(xiàng)目可用于高精度專有刀具、模具和摩擦滑動部件,提高使用壽命,減小摩擦,如手術(shù)和美容刀具、絲錐、PCB鉆、拉絲模、沖壓模具、壓縮機(jī)滑塊,滑動環(huán)等;用于視窗、鏡片和傳感器表面,可防止劃傷,增強(qiáng)散熱,利于紅外光傳遞,等;用于激光透鏡,可提高損傷閾值;用于射線輻射測量傳感器,可抗射線輻射損傷,提高測量的靈敏度。
西安交通大學(xué)
2021-04-11