鎢酸鋯薄膜的制備方法
鎢酸鋯薄膜的制備方法,它屬于薄膜制備領(lǐng)域.本發(fā)明解決了現(xiàn)有鎢酸鋯薄膜制備方法存在的操作復(fù)雜,成本高的問(wèn)題.本發(fā)明的方法如下:一,硝酸氧鋯和溶劑混合得到A溶液;二,絡(luò)合劑,溶劑和偏鎢酸銨混合得到B溶液;三,將A和B混合,配制溶膠;四,通過(guò)旋涂制備濕膜,再將濕膜預(yù)燒;五,制備鎢酸鋯非晶薄膜;六,鎢酸鋯非晶薄膜晶化后即得鎢酸鋯薄膜.本發(fā)明的制備工藝簡(jiǎn)單,成本低,制備得到的薄膜表面平整致密,厚度均勻,晶粒大小均勻.
哈爾濱師范大學(xué)
2021-05-04