工業(yè)激光器
成果創(chuàng)新點 光柵尺寸在國際上居于領(lǐng)先地位,最大達到了 1400mm, 遠超對手的 940mm;研制了一系列國內(nèi)首臺(套)具有自主知 識產(chǎn)權(quán)的米量級光柵研制工藝關(guān)鍵設(shè)備;在國際上首創(chuàng)了 曝光拼接方法,實現(xiàn)了利用小口徑曝光系統(tǒng),制作出了遠 大于曝光系統(tǒng)口徑的光柵;掌握了脈沖壓縮光柵設(shè)計、工 藝容差分析和工藝過程控制技術(shù),通過對曝光監(jiān)測、顯影 監(jiān)測和刻蝕監(jiān)測來保證光柵制作工藝的穩(wěn)定性,保證了光
中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)
2021-04-14