一種基于柔順機(jī)構(gòu)的 3 維微力傳感器的敏感元件
主要技術(shù)要點(diǎn)(創(chuàng)新點(diǎn)) :? 采用空間 3-UPU 柔順并聯(lián)機(jī)構(gòu)作為結(jié)構(gòu)類型,與傳統(tǒng)微力傳感器的敏感元件相比,具有高精度、高強(qiáng)度、無累積誤差等優(yōu)點(diǎn);? 3 個支鏈相互垂直放置,并且每 1 條支鏈能感受某一方向的力,同時不會影響其他支鏈的懸臂梁的應(yīng)變,具有 3 維解耦力傳感特點(diǎn);? 采用 3-UPU 柔順并聯(lián)結(jié)構(gòu)具有高固有頻率,具有頻寬范圍大的特點(diǎn);? 采用 2 對對稱的懸臂梁的應(yīng)變形成全橋式電路作為輸出,具有溫度不敏感的特點(diǎn)。項目背景:隨著精密工程技術(shù)、微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)及微/納米技術(shù)等的研究,微傳感器技術(shù)得到極大發(fā)展,特別是微力傳感器,在各種微操作過程中執(zhí)行對微接觸力的檢測,實(shí)現(xiàn)力-位移或力-視覺等混合控制,對提高微操作系統(tǒng)的精度起到了重要作用。該成果來源于胡俊峰副教授主持的國家自然科學(xué)基金項目《基于柔順機(jī)構(gòu)的智能微操作機(jī)器人動力學(xué)與控制研究》。
江西理工大學(xué)
2021-05-04