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該裝置工作原理不同于已有產(chǎn)品，具有推流和曝氣雙重作用，利用葉輪的高速旋轉(zhuǎn)，在葉輪前端形成一定負(fù)壓吸入空氣，形成汽水混合物后在葉輪的強(qiáng)大推力下噴出，采用旋轉(zhuǎn)蝸殼噴水裝置，渦殼在水流反作用力下可以做 360 度旋轉(zhuǎn)，極大地提高曝氣面積。該裝置的特點(diǎn)是：使用獨(dú)特的高效無堵塞推流曝氣葉輪，提高了效率；采用水力自旋轉(zhuǎn)蝸殼噴水裝置，提高了服務(wù)面積；結(jié)構(gòu)緊湊，安裝維護(hù)方便。

挑流-射流聯(lián)合消能系統(tǒng)利用下泄的高速水流沖擊溢流堰上葉輪轉(zhuǎn)動，通過變速器加速發(fā)電機(jī)旋轉(zhuǎn)發(fā)電，為置于水墊塘中的增壓泵供電，增壓泵的矩形出水口向上噴射出的面狀水流與溢流壩面挑射后下泄的面狀水流在空中碰撞消能，沖擊葉輪過程進(jìn)行底坎消能，在完成底坎消能和對沖消能后，余能將在水墊塘得到進(jìn)一下的消減。

技術(shù)成熟度：技術(shù)突破 1.原理：結(jié)合磁浮列車極端運(yùn)行工況，充分考慮運(yùn)行環(huán)境的強(qiáng)磁場，深入研究機(jī)-電-磁耦合機(jī)制，精確調(diào)節(jié)磁體懸浮姿態(tài)，以實(shí)現(xiàn)超導(dǎo)磁體在液氮溫區(qū)（-196℃）自穩(wěn)定懸浮。 2.創(chuàng)新點(diǎn)： （1）研發(fā)國產(chǎn)化低功耗懸浮控制模塊，能耗較進(jìn)口設(shè)備降低35%； （2）突破-196℃環(huán)境下多系統(tǒng)協(xié)同控制技術(shù)，填補(bǔ)國內(nèi)工程化應(yīng)用空白。 3.應(yīng)用場景： （1）高速磁浮列車靜懸試驗(yàn)臺 （2）精密儀器運(yùn)輸平臺 （3）航空航天地面測試裝備 4.應(yīng)用案例：前期開發(fā)的自由度控制系統(tǒng)，已被合作團(tuán)隊?wèi)?yīng)用且效果較好。

浙江大學(xué)聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關(guān)鍵核心技術(shù) 一、項目分類 關(guān)鍵核心技術(shù)突破 二、技術(shù)分析 如何通過超潔凈流控技術(shù)降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產(chǎn)高端半導(dǎo)體制造裝備研制面臨的重大挑戰(zhàn)，直接關(guān)乎整機(jī)產(chǎn)品的產(chǎn)線應(yīng)用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導(dǎo)體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導(dǎo)體制造裝備產(chǎn)業(yè)面臨核心零部件“卡脖子”風(fēng)險。浙江大學(xué)流體動力與機(jī)電系統(tǒng)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室啟爾團(tuán)隊所承擔(dān)的高端半導(dǎo)體制造裝備核心分系統(tǒng)之一的超潔凈流控系統(tǒng)，自2004年以來在國家863計劃和國家02專項支持，聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關(guān)鍵核心技術(shù)，完成了超潔凈流控系統(tǒng)九大組件的研制和集成測試，為半導(dǎo)體制造設(shè)備掃描速度與產(chǎn)能的提高提供基礎(chǔ)理論與方法依據(jù)，同時自主研發(fā)的半導(dǎo)體機(jī)臺核心超潔凈流控零部件實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品化，突破了國外技術(shù)的封鎖，為我國半導(dǎo)體制造的發(fā)展與自主創(chuàng)新提供了基礎(chǔ)支撐。

該項目應(yīng)用領(lǐng)域：可替代現(xiàn)有各種管殼式換熱器方案，尤其對貴重材料應(yīng)用的經(jīng)濟(jì)性更好，如銅管干式蒸發(fā)器、鈦管閉式冷卻器等。

開發(fā)了一種新型微流控注射器“濾頭”，通過簡單將樣品注入濾頭即可實(shí)現(xiàn)微粒的“片上濃縮”

一、 項目簡介并流濕式脫硫除塵一體化技術(shù)及設(shè)備是針對鍋爐煙氣處理、化工、制藥、食品、廢氣處理等領(lǐng)域的含塵、含硫氣體進(jìn)行凈化處理開發(fā)的一種運(yùn)行費(fèi)用低、脫硫、除塵效率高的環(huán)保技術(shù)與設(shè)備。設(shè)備內(nèi)安裝有自主研發(fā)的具有自主知識產(chǎn)權(quán)的旋風(fēng)式氣液接觸元件，含塵、含硫氣體與清洗液體同時從設(shè)備頂部并流進(jìn)入，在高速通過旋風(fēng)式高效接觸元件時對產(chǎn)生強(qiáng)烈的破碎、攪拌、沖擊作用，增強(qiáng)除塵效果，氣體得到凈化。并流濕式脫硫除塵流程如下圖所示。二、 項目技術(shù)成熟程度已應(yīng)用在實(shí)際工業(yè)生產(chǎn)中。應(yīng)用實(shí)例包括：1. 在河北邢臺英都化工廠含單質(zhì)硫氣體的凈化工藝中，成功地解決了原有氣體凈化系統(tǒng)中氣體單質(zhì)硫含量不達(dá)標(biāo)的問題，除塵效率達(dá)到99.8%；設(shè)備由原來的直徑3米、高32米下降為直徑1.6米，高14.64米，設(shè)備投資大大降低；運(yùn)行可靠、操作簡單；經(jīng)河北省產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)院檢測，總濕板壓降120Pa。  2. 本技術(shù)和設(shè)備在山東得克公司脫硫工程中應(yīng)用，氣量10000Nm3/h，設(shè)備直徑φ1000，高6100mm，脫硫率達(dá)99.5%。三、 技術(shù)指標(biāo)采用氣液并流，空塔氣速可達(dá)到5~15m/s，液氣比達(dá)到5 L/m3；全塔總壓降＜150Pa，脫硫率≥99.5%，總除塵效率可達(dá)到99%；對0~5μm粒徑的微細(xì)粉塵分級效率達(dá)到85%；與氣液逆流相比，處理相同氣量和粉塵濃度時，能耗可降低25%，設(shè)備尺寸減小50%～60%，操作費(fèi)用和設(shè)備投資可減少40%以上；操作時不會出現(xiàn)液泛、霧沫夾帶或帶水現(xiàn)象，塔板上無結(jié)垢；操作時不會產(chǎn)生粉塵的再飛揚(yáng)問題。四、 市場前景并流濕式脫硫除塵一體化技術(shù)及設(shè)備是針對鍋爐煙氣處理、化工、制藥、食品、廢氣處理等領(lǐng)域的含塵、含硫氣體進(jìn)行凈化處理開發(fā)的一種運(yùn)行費(fèi)用低、脫硫、除塵效率高的環(huán)保技術(shù)與設(shè)備。氨法、雙堿法、鎂法、石灰石—石膏法等各種方法鍋爐煙氣脫硫除塵；鋼鐵行業(yè)燒結(jié)煙氣的脫硫除塵；化工、制藥、食品、建材等行業(yè)的工業(yè)除塵；煙氣脫硫脫硝除塵一體化操作；有害氣體的凈化、冷卻和增濕；處理高溫、高濕和有爆炸危險的氣體；H2S、HCl、NH3、HF等氣體的吸收；惡臭氣體的脫臭。五、 規(guī)模與投資需求根據(jù)不同需求可對應(yīng)多種解決方案。六、 合作方式技術(shù)入股，技術(shù)轉(zhuǎn)讓等形式。七、 項目具體聯(lián)系人及聯(lián)系方式項目負(fù)責(zé)人及聯(lián)系人：張少峰電話： 022-60204596 13132081566 郵箱： [email protected]