基于多足旋轉(zhuǎn)壓電驅(qū)動(dòng)器實(shí)現(xiàn)的跨尺度驅(qū)動(dòng)激勵(lì)方法
多足旋轉(zhuǎn)壓電驅(qū)動(dòng)器及其實(shí)現(xiàn)跨尺度驅(qū)動(dòng)的激勵(lì)方法,屬于壓電驅(qū)動(dòng)技術(shù)領(lǐng)域.解決了現(xiàn)有壓電驅(qū)動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)方法在具備快速,大行程響應(yīng)能力的同時(shí),難于兼具高精度,納米尺度定位功能這一突出問題.本方法基于多足旋轉(zhuǎn)壓電驅(qū)動(dòng)器的兩組彎振壓電陶瓷實(shí)現(xiàn)的,并根據(jù)目標(biāo)輸出位移選擇三種激勵(lì)模式之一,兩種激勵(lì)模式的組合或者三種激勵(lì)模式的組合來(lái)實(shí)現(xiàn)不同位移尺度的輸出,所述激勵(lì)模式包括交流連續(xù)激勵(lì)模式,脈沖步進(jìn)激勵(lì)模式和直流微驅(qū)動(dòng)模式,使得驅(qū)動(dòng)器不僅具備快速,大行程響應(yīng)能力,同時(shí)具備高精度,納米尺度定位功能,最終實(shí)現(xiàn)真正的跨尺度,超精密驅(qū)動(dòng).它用于壓電驅(qū)動(dòng)領(lǐng)域中實(shí)現(xiàn)跨尺度,超精密驅(qū)動(dòng).
哈爾濱工業(yè)大學(xué)
2021-05-04