一種精密定位隔振平臺(tái)
本發(fā)明公開了一種定位隔振平臺(tái),它包括定位隔振裝置和主動(dòng)控制器,兩者之間通過電氣連接,主動(dòng)控制器對(duì)定位隔振裝置進(jìn)行位置控制和振動(dòng)控制。定位隔振裝置包括分布在正三角形頂點(diǎn)的三支撐腿及其共同支撐的一塊負(fù)載平板。每一個(gè)支撐腿中有一個(gè)螺旋彈簧作為主要支撐部件。一個(gè)位移傳感器布置在連接板下方檢測(cè)連接板位移,負(fù)載平臺(tái)對(duì)應(yīng)支撐腿的位置安裝有垂向速度傳感器。主動(dòng)控制器為主從開放式結(jié)構(gòu)形式,由上位控制計(jì)算機(jī)和下位執(zhí)行控制器組成,保證負(fù)載平臺(tái)保持在設(shè)定位置,并有效的隔離地基振動(dòng)對(duì)平臺(tái)精度的影響。本發(fā)明可廣泛應(yīng)用于精密加工
華中科技大學(xué)
2021-04-14