一種三氫化鋁表面包覆改性方法
本發(fā)明公開了一種三氫化鋁表面包覆改性方法,采用原子層沉 積技術(shù)在三氫化鋁粉末表面沉積納米厚度的金屬氧化物或金屬物質(zhì)將 其包覆,以提高三氫化鋁粉末熱穩(wěn)定性,包括,S1:將三氫化鋁粉體 放入腔體內(nèi)并抽真空;S2:加熱腔體到設(shè)定溫度且溫度均勻穩(wěn)定后, 通入流化氣,使三氫化鋁預(yù)分散;S3:原子層沉積反應(yīng),當(dāng)腔體內(nèi)的 溫度達(dá)到 50~130℃時(shí),開始原子層沉積反應(yīng);S4:重復(fù)多次原子層 沉積反應(yīng),使粉體表面沉積厚度不斷增長,通過控制沉積反應(yīng)循環(huán)的 次數(shù)從而控制在三氫化鋁粉體表面沉積的金屬氧化物或金屬的厚度,
華中科技大學(xué)
2021-01-12