一種可單面封裝的雙膜電容式壓力傳感器及制作方法
本發(fā)明涉及壓力傳感器技術(shù)領(lǐng)域,特指一種可單面封裝的雙膜電容式壓力傳感器及制作方法,包括玻璃襯底,玻璃襯底上設(shè)有小淺槽與大淺槽,小淺槽通過(guò)細(xì)槽連通于大淺槽,大淺槽上設(shè)有可測(cè)量低壓差的電容C1與可測(cè)量高壓差的電容C2,可測(cè)量低壓差的電容C1包括底電極板與薄壓力敏感膜,可測(cè)量高壓差的電容C2包括厚壓力敏感膜與頂電極板,小淺槽通過(guò)細(xì)槽與可測(cè)量低壓差的電容C1對(duì)應(yīng)設(shè)置,可測(cè)量低壓差的電容C1與可測(cè)量高壓差的電容C2對(duì)應(yīng)設(shè)置。本發(fā)明采用變間距原理實(shí)現(xiàn)壓力到電容的轉(zhuǎn)換,可測(cè)量低壓差的電容C1與可測(cè)量高壓差的電容C2分別實(shí)現(xiàn)了低壓段與高壓段的高精度測(cè)量,不僅提高了壓力測(cè)量精度,也提升了傳感器的測(cè)量范圍。
東南大學(xué)
2021-04-11