一種基于靜電控制扭擺的導(dǎo)體表面電勢測量儀
本發(fā)明提供了一種基于靜電控制扭擺的導(dǎo)體表面電勢測量儀,包括懸絲、探針支架,掃描探針,多自由度微位移平移臺,角度傳感器,控制系統(tǒng)和反饋執(zhí)行機(jī);掃描探針設(shè)置在探針支架的任意一個(gè)端面上;懸絲懸掛探針支架構(gòu)成扭擺;工作時(shí),待測樣品設(shè)置在多自由度微位移平移臺上,待測樣品的待測表面正對且平行于掃描探針的端面;掃描探針的端面與待測表面不接觸;當(dāng)掃描探針與待測樣品之間存在相互作用時(shí),角度傳感器將檢測的扭擺的扭轉(zhuǎn)信息傳給控制系統(tǒng);進(jìn)行 PID 運(yùn)算后獲得的反饋控制電壓傳給反饋執(zhí)行機(jī),產(chǎn)生一個(gè)與外力矩等大的反饋控制力矩
華中科技大學(xué)
2021-04-14