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一種可調(diào)薄膜體聲波諧振器及其制備方法
本發(fā)明公開了一種可調(diào)薄膜體聲波諧振器及其制備方法，該制 備方法包括步驟 S1：在潔凈的 Si 襯底上制備阻擋層；S2：在阻擋層上 制備布拉格反射柵，布拉格反射柵由不同聲波阻抗薄膜構(gòu)成；S3：在 布拉格反射柵上依次制備粘附層和底電極；S4：在底電極上制備多層 異質(zhì)結(jié)構(gòu)，并作為體聲波諧振器的壓電層；多層異質(zhì)結(jié)構(gòu)由 BST 薄膜、 BZT 薄膜或 BZN 薄膜構(gòu)成；S5：將多層異質(zhì)結(jié)構(gòu)進(jìn)行退火處理后形成 晶化薄膜；S6：在
華中科技大學(xué)
2021-04-14
一種多層薄膜微結(jié)構(gòu)自對(duì)準(zhǔn)制備方法及裝置
本發(fā)明公開一種多層薄膜微結(jié)構(gòu)自對(duì)準(zhǔn)制備方法，通過(guò)分隔板將噴頭內(nèi)腔體縱向分為至少兩個(gè)腔室，在各腔室內(nèi)注入不相溶的高分子溶液，并匯聚于噴頭的噴嘴處；施加高壓靜電場(chǎng)，同時(shí)驅(qū)使接收板做平面直線運(yùn)動(dòng)，在高壓靜電場(chǎng)作用下噴嘴處的溶液變形成泰勒錐，從泰勒錐尖端拉出射流，射流中的多種高分子材料先后沿著接收板運(yùn)動(dòng)的方向進(jìn)行靜電紡絲，形成多層薄膜微結(jié)構(gòu)。本發(fā)明還公開一種實(shí)現(xiàn)上述方法的裝置，分隔板縱向設(shè)于噴嘴內(nèi)，將噴嘴內(nèi)腔體分隔為至少左右兩個(gè)腔室；在噴嘴端部設(shè)有端部蓋板，端部蓋板與噴嘴端部之間設(shè)有密封片；噴嘴的側(cè)面開有溶
華中科技大學(xué)
2021-04-14
一種基于激光加熱固膜的駐極體薄膜制備方法
本發(fā)明公開了一種基于激光加熱固膜的駐極體薄膜制備方法， 包括：將導(dǎo)電基材層固定于旋涂、噴涂或者刮涂設(shè)備上，并配置適當(dāng) 的駐極體納米顆粒懸浮液；通過(guò)調(diào)整旋涂速度、噴涂速度或者刮涂厚 度參數(shù)使得駐極體懸浮液均勻覆蓋，然后對(duì)駐極體懸浮液的溶劑執(zhí)行 蒸發(fā)處理，由此在導(dǎo)電基材層上形成具備一定厚度的駐極體材料層； 采用激光加熱設(shè)備將激光照射到駐極體材料層表面上，由此利用激光 照射產(chǎn)生的熱量使得駐極體納米顆粒融化并相互連接，由此制
華中科技大學(xué)
2021-04-14
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一種鈣鈦礦薄膜光伏電池及其制備方法
本發(fā)明涉及一種鈣鈦礦薄膜光伏電池及其制備方法。所述的鈣鈦礦薄膜光伏電池是由導(dǎo)電透明襯底、 鈣鈦礦吸光層、空穴傳輸層和金屬電極組成的。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是：該鈣鈦礦薄膜光伏電池器件結(jié)構(gòu)極其 簡(jiǎn)單，省去了傳統(tǒng)的需要高溫?zé)Y(jié)的電子傳輸層，也不需要多孔層，鈣鈦礦材料本身既做吸光層也起電 子傳輸作用，所以不需要電子傳輸層。這里的鈣鈦礦材料對(duì)光具有非常強(qiáng)的吸收，整個(gè)電池也是低溫制 備，不需要高溫?zé)Y(jié)等復(fù)雜過(guò)程，這有效地降低了電池的制作成本。對(duì)電池的柔性化和大面積
武漢大學(xué)
2021-04-14
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用于預(yù)測(cè)多元拼合靶材制備的薄膜成分的預(yù)測(cè)方法
一種用于預(yù)測(cè)多元拼合靶材制備的薄膜成分的預(yù)測(cè)方法
一、項(xiàng)目分類
顯著效益成果轉(zhuǎn)化
二、成果簡(jiǎn)介
現(xiàn)有物理氣相沉積（PVD）制備多元薄膜材料采用合金靶材作為靶源，生產(chǎn)過(guò)程中，薄膜成分的調(diào)控范圍受安裝的合金靶材的成分比例的限制。如果預(yù)期獲得納微復(fù)雜結(jié)構(gòu)的復(fù)合薄膜，按照常規(guī)技術(shù)路線需要上百塊成分連續(xù)變化的合金靶材，這顯然是無(wú)法實(shí)現(xiàn)的。同時(shí)，采用合金靶材制備某些多元薄膜時(shí)，需要特高純度的或極端成分比例的靶材作為靶源，這類特殊靶材以現(xiàn)有技術(shù)難以制造。
為此，本發(fā)明研發(fā)出一種用于預(yù)測(cè)多元拼合靶材制備的薄膜成分的預(yù)測(cè)方法，利用本發(fā)明技術(shù)有助于新材料的研發(fā)和促進(jìn)半導(dǎo)體器件、切削刀具涂層等高新技術(shù)的發(fā)展。
武漢理工大學(xué)
2022-08-12
一種防腐耐磨鐵基非晶薄膜及其制備方法
本發(fā)明公開了一種防腐耐磨鐵基非晶薄膜及其制備方法，其包 括的成分及該成分的原子百分比含量分別為：14.0～22.0at.％Cr，6.0～ 16.0at.％Mo，4.0～7.0at.％B，4.0～20.0at.％C，0.0～3.0at.％W 以及余 量的 Fe。其制備方法包含 S1 制備單一合金靶材；S2 選擇襯底材料， 將襯底表面進(jìn)行平整化，然后清洗并吹干待用；S3 進(jìn)行磁控濺射，其 中，背景真空度值不高于 5x10<sup
華中科技大學(xué)
2021-04-14
一種多層薄膜微結(jié)構(gòu)自對(duì)準(zhǔn)制備方法及裝置
本發(fā)明公開一種多層薄膜微結(jié)構(gòu)自對(duì)準(zhǔn)制備方法，通過(guò)分隔板 將噴頭內(nèi)腔體縱向分為至少兩個(gè)腔室，在各腔室內(nèi)注入不相溶的高分 子溶液，并匯聚于噴頭的噴嘴處；施加高壓靜電場(chǎng)，同時(shí)驅(qū)使接收板 做平面直線運(yùn)動(dòng)，在高壓靜電場(chǎng)作用下噴嘴處的溶液變形成泰勒錐， 從泰勒錐尖端拉出射流，射流中的多種高分子材料先后沿著接收板運(yùn) 動(dòng)的方向進(jìn)行靜電紡絲，形成多層薄膜微結(jié)構(gòu)。本發(fā)明還公開一種實(shí) 現(xiàn)上述方法的裝置，分隔板縱向設(shè)于噴嘴內(nèi)，將噴嘴內(nèi)腔體分隔為至 少左右兩個(gè)腔室；在噴嘴端部設(shè)有端部蓋板，端部蓋板與噴嘴端部之 間設(shè)有密封片；
華中科技大學(xué)
2021-04-14
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一種有機(jī)-無(wú)機(jī)復(fù)合電致變色薄膜及其制備方法
本發(fā)明公開了一種有機(jī)-無(wú)機(jī)復(fù)合電致變色薄膜及其制備方法。該薄膜為聚苯胺與三氧化鎢的復(fù)合薄膜，其中含有5～80％質(zhì)量分?jǐn)?shù)的三氧化鎢，薄膜厚度為50～300nm，表面具有納米棒陣列形貌。該制備方法包括：將表面經(jīng)羥基化處理的ITO玻璃或者ITO/PET基底垂直豎立并固定于反應(yīng)容器中，將過(guò)氧化鎢酸溶液與苯胺溶液的混合溶液倒入其中并攪拌；再加入過(guò)硫酸銨溶液，攪拌下進(jìn)行反應(yīng)；反應(yīng)完成后，取出沉積有薄膜的基底并沖洗、干燥而得。本發(fā)明制備方法實(shí)現(xiàn)了聚苯胺/氧化物在分子層次復(fù)合，工藝簡(jiǎn)單，成分可方便控制，成本較低，易于實(shí)現(xiàn)工業(yè)化。制得的薄膜光譜調(diào)節(jié)范圍大、顏色豐富、響應(yīng)速度快、循環(huán)壽命長(zhǎng)，應(yīng)用范圍廣泛。
浙江大學(xué)
2021-04-13
PT100型號(hào)薄膜鉑電阻低溫溫度計(jì)PI封裝
北京錦正茂科技有限公司
2022-03-26
PT100型號(hào)薄膜鉑電阻低溫溫度計(jì)低溫實(shí)驗(yàn)
北京錦正茂科技有限公司
2022-06-13