一種白光干涉原子力探針系統的成像自動調整裝置及其控制方 法
本發明公開了一種基于白光干涉原子力探針掃描顯微鏡探針系 統的成像自動調整裝置自動及其控制方法,該裝置主要包括計算機, 夾持機構及鉸鏈機構,原子力探針及其探針組件,白光干涉顯微系統, 面 CCD 光路連接筒。在白光干涉原子力探針顯微鏡連接完成的情況 下,根據面 CCD 上探針的成像與面 CCD 坐標系的水平夾角,通過計算機來控制舵機偏轉一定的角度,使得原子力探針在面 CCD 中的成像 與面 CCD 坐標系中的夾角在誤差范圍內,從而得到測量的結果有較小 的測量誤差。本發明可以實現探針在面 CCD 中的成
華中科技大學
2021-04-14