一種測量激光光束質量的裝置、方法及光路準直方法
本發(fā)明公開了一種測量激光光束質量的裝置、方法及光路準直 方法,解決了現(xiàn)有激光光束質量測量系統(tǒng)放置激光器后需要花費大量 時間進行手動準直的問題。本發(fā)明包括激光器,第一衰減片,第二衰 減片,全反射棱鏡,反射鏡,圖像采集模塊,光束傳輸距離調節(jié)模塊, 光束傳輸角度調節(jié)模塊,數(shù)據(jù)處理模塊。本發(fā)明通過光束傳輸距離調 節(jié)模塊和數(shù)據(jù)處理模塊測量出不同光束傳輸距離下的光斑中心位置計 算出光束偏離角度,從而通過光束傳輸角度調節(jié)模塊對激光
華中科技大學
2021-04-14