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半導體設備超潔凈流控系統及其受制約流控零部件
浙江大學聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術
一、項目分類
關鍵核心技術突破
二、技術分析
如何通過超潔凈流控技術降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產高端半導體制造裝備研制面臨的重大挑戰，直接關乎整機產品的產線應用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導體制造裝備產業面臨核心零部件“卡脖子”風險。浙江大學流體動力與機電系統國家重點實驗室啟爾團隊所承擔的高端半導體制造裝備核心分系統之一的超潔凈流控系統，自2004年以來在國家863計劃和國家02專項支持，聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術，完成了超潔凈流控系統九大組件的研制和集成測試，為半導體制造設備掃描速度與產能的提高提供基礎理論與方法依據，同時自主研發的半導體機臺核心超潔凈流控零部件實現了產品化，突破了國外技術的封鎖，為我國半導體制造的發展與自主創新提供了基礎支撐。
浙江大學
2022-07-22
浙江湖州全國首創“能源碳效碼”
隨著國家大數據戰略的全面推進，數據驅動創新不斷向經濟社會各行業領域應用和延伸，當前，清潔低碳正成為新階段能源發展的主旋律。
浙江省科技廳
2021-04-15
風電新能源高性能結構體系
風電能源是一種可再生清潔新能源，加快風電新能源推廣應用符合國家能源 戰略需求。在風電能源開發中，提升塔筒結構和基礎結構的性能和經濟性是提高 風電能源市場競爭力的重要保障。重慶大學風電新能源新型結構體系研究團隊研 發了適用于不同輪轂高度的三種新型風電塔筒結構體系：中空夾層鋼管混凝土組 合塔筒、預應力鋼管混凝土格構式塔架、基于斜拉索體系的風電組合塔筒，以及 裝配式組合基礎結構，并揭示了新型風電塔筒結構體系和裝配式組合基礎結構的 破壞機制，建立了精細化設計理論。研發了多機平臺浮式基礎結構體系和格構式 浮式基礎組合結構體系，有望在深海、遠海風能資源開發中得到應用，突破我國 浮式風電場建設零的突破。目前重慶大學已形成性能高、綜合成本低、市場競爭 力強的新型風電結構標準化成套體系。
重慶大學
2021-04-11
一種多能源燃氣熱泵供熱系統
本發明公開了一種多能源燃氣熱泵供熱系統，屬于熱泵供熱系統領域，包括動力驅動系統、熱泵系統、太陽能集熱系統、水循環加熱系統；所述動力驅動系統包括發動機、電機、無級變速裝置、動力耦合器、逆變器、磷酸鐵鋰電池組、控制器、太陽能光伏板；所述熱泵系統包括壓縮機、蒸發器、膨脹閥、冷凝器；所述太陽能集熱系統包括集熱水箱、太陽能集熱器、第一循環水泵、第一截止閥和第二截止閥；所述水循環加熱系統包括第二循環水泵、電加熱器、缸套換熱器、排氣余熱回收器、用戶換熱器、生活熱水箱。
東南大學
2021-04-11
石墨烯能源與傳感應用技術
石墨烯是一種典型的單原子層二維材料，具有獨特的狄拉克電子結構、超高的載流子遷移率和濃度，在高速、高質量薄膜器件集成等方面顯示出潛在應用優勢。然而，本征石墨烯呈金屬或半金屬特性，限制了其在器件中的應用。本成果從石墨烯的可控生長及多維多尺度宏觀結構組裝出發，探索調控石墨烯電子結構的有效方法，推動其在納米能源和傳感器件中的集成與應用。 主要內容包括： 1.高質量石墨烯薄膜的大面積可控制備、轉移工藝，及多維多尺度宏觀結構組裝技術； 2.開發了高效異質結太陽能電池和光電探測器產品，具有規模集成的納米能源器件制造方法和工藝。太陽能電池轉換效率超過 15%；光電探測器的靈敏度比同類商用光電器件高 3 個數量級，在保持同樣光電流響應的情況下，其暗電流和噪聲等效功率分別了降低了 2個和 3 個數量級； 3.開發了系列柔性傳感器產品，及面向移動醫療可穿戴應用的傳感器制造方法和工藝。不僅可探測應變、壓力、扭轉、有機物、聲波等信號，還對多種微變形（包括損傷、振動等）高靈敏度識別，具有與生理信息互聯的特點，可監測和掃描生命體的生理狀態，如脈搏、呼吸、心跳、語音等人體活動。
清華大學
2021-04-11
新能源汽車空調壓縮機
本項目團隊成功研發出變排量斜盤壓縮機的斜盤機構、內（外）控閥；在此基礎上提出了新能源汽車空調壓縮機。
西安交通大學
2021-04-11
廢棄生物質秸稈的微能源回收利用
日前，東南大學能源與環境學院肖睿教授領銜的清潔能源團隊利用廢棄生物質秸稈實現了在空氣中高效的凈水和產電，實現了廢棄生物質的新型高效利用。通過對廢棄玉米秸稈進行簡單的預處理，實現了玉米秸稈在全濕度環境下從空
東南大學
2021-01-12
新型可再生能源供電系統
成果簡介新型可再生能源供電系統主要解決高效率利用風能和太陽能等問題， 為各類用戶提供高質量的自然能源供電。 本系統采用高頻雙開關互補調制技術， 減小無源濾波器的應力， 并且將純正弦半波電路與類似線性有源校正技術的融合應用；使系統具有結構簡單、 控制容易、 性價比高、 負載適應能力強等諸多優點。本項曾獲國家科技部科技型中小企業技術創新基金項目支持。成熟程度和所需建設條件本項目具有良好的技術指標， 雖然作為創新基金項目成功結題， 但沒有找到投資至今尚未產業化，
安徽工業大學
2021-04-14
微型燃氣輪機能源島系統
設計和開發了微型燃氣輪機能源島系統分析、仿真軟件(EIS)，在能源 島聯供系統開發、預測等方面能夠代替中間實驗過程，從而達到節省投資、縮短 建設周期的目的。
上海理工大學
2021-01-12
人才需求:新能源電池技術人才
新能源電池技術人才
山東久力工貿集團有限公司
2021-09-13