一種適于頂針快速更換的芯片剝離裝置
本實用新型公開了一種適于頂針快速更換的芯片剝離裝置,包括頂針頭機構、傳動機構、頂起驅(qū)動機構、Z 向升降機構和二自由度位置調(diào)整機構,其中頂針頭機構配合安裝在傳動機構上,并可實現(xiàn)頂針的快速更換;傳動機構安裝在頂起驅(qū)動機構上,用于傳遞頂針頂起驅(qū)動力同時實現(xiàn)頂針罩內(nèi)腔的真空度;頂起驅(qū)動機構安裝在 Z 向升降機構上,用于提供頂針頂起剝離芯片的驅(qū)動力,并對頂針的頂起高度進行反饋控制;Z 向升降機構則安裝在二自由度位置調(diào)整機構上并由其執(zhí)行 X、Y 向的位置調(diào)整之后,再將安裝于自身其他組件一同調(diào)整上升到工作位置。通
華中科技大學
2021-04-14