一種適用于納米材料操控的多自由度納米操作臺
本發(fā)明公開了一種適用于納米材料操控的多自由度納米操作臺,包括底座、Z 向位移臺、XY 向位移臺和納米操作臂,其中 Z 向位移臺沿著豎直方向設置在底座上,包括彼此連接的固定部件和安裝有 Z 向直線驅(qū)動電機的移動部件;XY 向位移臺沿著水平方向設置在 Z 向位移臺的移動部件上,并包括彼此并聯(lián)滑動連接的第一至第三并聯(lián)部件,其中第一并聯(lián)部件上安裝有 Y 向直線驅(qū)動電機,第二并聯(lián)部件上安裝有 X 向直線驅(qū)動電機,第三并聯(lián)部件上安裝有旋轉(zhuǎn)運動驅(qū)動電機和納米操作臂。本發(fā)明通過對驅(qū)動電機與位移臺的高精度控制以及主要
華中科技大學
2021-04-14