微機電系統(tǒng)集成設(shè)計工具
內(nèi)容介紹: 微機電系統(tǒng)(MEMS)具有體積小、重量輕、成本低、可靠度高等特點, 在航空、航天、汽車、消費電子等領(lǐng)域具有廣闊應(yīng)用價值。MEMS設(shè)計過程 復(fù)雜,高效的設(shè)計工具現(xiàn)已成為制約我國MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵。設(shè)計工具 分為系統(tǒng)級、器件級、工藝級三個設(shè)計層級,并具有三個層級之間的全部 數(shù)據(jù)傳遞接口,支持不同工程背景的設(shè)計者任意入口,任意流程的設(shè)計, 該設(shè)
西北工業(yè)大學(xué)
2021-04-14