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半導體設備超潔凈流控系統及其受制約流控零部件
浙江大學聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術
一、項目分類
關鍵核心技術突破
二、技術分析
如何通過超潔凈流控技術降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產高端半導體制造裝備研制面臨的重大挑戰，直接關乎整機產品的產線應用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導體制造裝備產業面臨核心零部件“卡脖子”風險。浙江大學流體動力與機電系統國家重點實驗室啟爾團隊所承擔的高端半導體制造裝備核心分系統之一的超潔凈流控系統，自2004年以來在國家863計劃和國家02專項支持，聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術，完成了超潔凈流控系統九大組件的研制和集成測試，為半導體制造設備掃描速度與產能的提高提供基礎理論與方法依據，同時自主研發的半導體機臺核心超潔凈流控零部件實現了產品化，突破了國外技術的封鎖，為我國半導體制造的發展與自主創新提供了基礎支撐。
浙江大學
2022-07-22
精密烤箱
產品詳細介紹精密烤箱
名稱：烤箱（精密烤箱）
型號：KB-TL-137
精密烤箱的主要用途：
主要用于工業生產中對產品的干燥、烘焙、熱處理等。
精密烤箱的產品特點：
KBT系列精密烘箱測試空間共分8種標準規格，可滿足各種不同需要（另可根據生產或測試需要訂造非標尺寸）。
特殊設計之強制循環送風系統，可靠保證工作溫度分布均勻度。
采用高效壓縮玻璃棉，保溫效果易顯著。
另有其它工業烤箱，100級無塵烤箱等供選擇。
精密烤箱的主要規格和技術參數：
內箱尺寸：500X500X550 MM
精密烤箱溫度范圍 室溫-200℃（300℃），
溫度穩定度 ±0. 5℃，
溫度分布均勻度 ±2℃，
升溫時間 200℃約需50min，
內/外箱材質 SUS 304#不銹鋼外箱：鋼板烤漆A：內膽為鏡面不銹鋼
保溫材質 高效壓縮玻璃棉，
保溫裝置 無熔絲開關，超溫保護開關，瓷質保險絲
精密烤箱的一些配件 可調隔層板2-6件
電源1ф220VAC±10% 20A
溫度表 日本名廠“SHTIMADEN”PID配SSR輸出,風機延時斷電功能(可另購配程式控制)
時間計 999小時跳字顯示
保險裝置 第一次超溫報警,第二次超溫切電功能,MCCB過載保護,溫度自整定
電熱 鰭片式散熱管形電熱管
運風系統 強制送風循環系統及特別設計出風口,溫度分布均勻度特佳
排氣煙道 葉片式設計可調出風量
控制形成 溫度到達設定溫度后自動打開時間計,時間到達后切斷發熱電源,蜂鳴提示
科寶試驗設備有限公司
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廣東科寶試驗設備有限公司
2021-08-23
基于超音速熱噴涂技術的裝備關鍵零部件表面耐磨耐蝕涂層
許多工業設備往往因為某個關鍵零部件表面的損壞，導致整個系統效能大幅度降低甚至報廢，造成極大地浪費。綜合應用先進的表面涂層技術，不僅可以極大延長裝備關鍵零部件的壽命，提高產品質量，甚至可以修復已損壞的關鍵零部件，實現裝備的再制造，達到節能、減排、降耗、環保之目的。 熱噴涂技術可使工件表面獲得不同于基體材料的特性，具備更優良的強度、硬度、耐磨、耐蝕、耐熱、絕緣、導電、密封、抗氧化、隔熱、消毒、防微波輻射以及其它各種特殊物理化學性能。它不僅可以再制造修復關鍵零部件，使報廢的零部件
華南理工大學
2021-04-14
大型、超大型零部件孔、面有高位置精度要求的 定位加工技術
對于大型或超大型零部件，如大型箱體類零件上，常有軸承孔系以及面的平行、垂直等位置精度的要求，本技術區別于傳統的加工方法，利用特有的等分定位技術和車間現場條件，可方便地確定孔的對稱位置和關聯面間的位置，且加工或修正出具有很高位置精度的零部件。 工作原理：等分定位新技術 + 特殊的定位處理技術
北京科技大學
2021-04-11
輕量化汽車用非調質鋼零部件鍛造形性調控關鍵技術研發
致力于高性能非調質鋼鍛件關鍵技術研發與應用，通過鍛件一體化復 合鍛造成形技術、非調質鋼曲軸和連桿熱溫復合鍛造成形工藝及專用模具、 以及非調質鋼復雜構件組織性能差異化控制技術等技術，創新性發明了非 調質鋼在汽車零部件上應用的關鍵技術，解決了非調質鋼強度有余而韌性 不足的關鍵問題。利用該成果對非調質鋼線材通過控制形變、冷傲、滾絲、 時效處理等工藝技術，研究開發的形變強化高強度緊固件達到GB/T3098. 1 中的10.9級和12.&
南京工程學院
2021-01-12
小型精密車床
型號： XD0620
產品特點：緊急拍停開關、速度無級可調、四點式轉動刀架、全套金屬變速齒輪、高精確度。 基于高精密的產品技術，杰出的性能，使用眾多的附件可進行多萬面的工作。
技術參數
主軸精度：0.02mm機床最大回轉直徑：250mm最大工件長度：550mm三爪卡盤外徑：125mm拖板橫向行程：llOmm拖板縱向行程：70mm主軸通孔直徑：26mm主軸孔莫氏錐度：MT#4尾軸孔莫氏錐度：MT#2車削公制螺紋范圍：0.2~3.5mm車削英制螺紋范圍：8~56TPI主軸轉速范圍（無級調速）：50~2500轉/分鐘輸出功率：750W凈重/毛重 ：115KG/145KG車床外形尺寸：1150mm*560mm*530mm包裝尺寸：1220mm*580mm*580mm隨機配件：125mm三爪卡盤、莫氏2號和莫氏4號呆頂尖、金屬交換齒輪套件、油壺、2把外圓車刀可選配件：11件套車刀、中心架、跟刀架、四爪卡盤、莫氏2號活絡頂尖、尾座夾頭帶錐柄
佛山市先導數碼科技有限公司
2022-09-14
汽車零部件產品設計、強化工藝制定、耐久性評價以及研發能力提高
1. 具有自主知識產權的復雜服役條件下強度與耐久性評價技術：載荷譜處理新技術——有機地結合強度的動態變化特征等的載荷譜處理新技術；強度與耐久性快速試驗和評價技術——基于動態強度特征零部件耐久性快速評價技術；復雜載荷下零部件疲勞壽命預測技術——有機的結合載荷強化和損傷特性、基于強度特征的疲勞累積損傷理論進行復雜載荷下汽車零部件壽命預測和評價。 2.基于載荷與強度特性的輕量化設計技術：具有自主產權的基于強度特征的輕量化設計方法——基于零部件載荷譜和強度特征進行輕量化設計，該方法能夠充分發揮材料的強度潛能，疲勞強度和疲勞壽命設計更加合理；在零部件的輕量化設計中把靜強度、疲勞強度和壽命、熱處理要求、動態特性和成本有機結合起來進行，把產品的強度與耐久性延伸到成形工藝和熱處理強化工藝，把成形工藝-熱處理工藝-產品疲勞耐久性能關系有機的結合起來，成功的應用于等速萬向傳動中間軸自主開發設計中。
上海理工大學
2021-04-13
高速列車走行及懸掛系關鍵零部件載荷譜測試及可靠性設計技術
該項目是國家部委項目，現處于實驗室研究階段。 項目主要研究內容如下： （1）關鍵構件載荷譜編譜平臺 建立以轉向架構架標定試驗臺為主要裝備的關鍵構件載荷譜編譜平臺，該平臺以多通道、高精度轉向架測力構架標定加載系統為主要設備，配以多通道協同作用控制軟件和相應的加載工裝，完成轉向架載荷譜測試中測力構架的載荷標定，這是確保載荷譜研究圓滿完成所必需的基本試驗手段。 （2）載荷線路測試與評估平臺技術 建立以大容量、多通道、高信噪比（包括無線測量）的載荷線路測試與評估平臺技術，該平臺以高信噪比動態數據采集系統和無線遙測數據采集系統為主要設備，能夠在高速動車組運行時，全程往返連續測試高速動車組轉向架構架、輪軸等關鍵部件的載荷與動應力。 項目主要技術創新點如下：? 建立復雜載荷系下載荷標定技術和方法；? 載荷譜的損傷一致性編譜準則；? 高置信度編譜技術；? 各類測力裝置和大容量高抗干擾能力的測試系統；? 可靠性評估技術。 本項目將形成以轉向架構架標定試驗臺、結構疲勞試驗系統和材料疲勞試驗系統為主要裝備的關鍵構件載荷譜編譜平臺和多通道高信噪比測試設備為主體的載荷線路測試與評估平臺。 應用范圍： 高速列車車輪、車軸、構架、軸箱、齒輪箱、懸吊螺栓、懸吊支座等走行及懸掛系關鍵零部件的設計及試驗評估。
北京交通大學
2021-04-13
等溫精密鍛造技術
內容介紹： 經過多年的技術基礎研究和工程應用研究，研創出了鋁合金、鈦合 金、高溫合金等材料復雜形狀鍛件等溫精密鍛造和超塑性鍛造新技術， 已在多個工廠和多項工程上獲得應用。主要內容包括：研制出了等溫鍛 模具新材料ZGM2；設計出了多種等溫鍛模具新結構；研創出了材料細晶 化毛坯制備、精密制坯與成形、防止精鍛件出模變形和熱處理變形、防 護潤滑、化偶、表面質量控
西北工業大學
2021-04-14
超聲精密加工系統
1、技術原理：在刀柄或主軸內部嵌入超聲換能器，通過電磁感應無線傳輸驅動換能器，在發生器驅動下，在刀具末端產生高頻率機械振動，輔助旋轉能量，提高加工效率與刀具壽命。2、主要參數： 頻率：20-130kHz；功率：
哈爾濱工業大學
2021-04-14