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成果與項(xiàng)目的背景及主要用途：該技術(shù)采用數(shù)控氣動(dòng)閉環(huán)控制回路、機(jī)械手 可以上下插拔，在 XYZ 三個(gè)方向有力觸覺(jué)，可以感受作用力，如果力大，機(jī)械手 可以自動(dòng)緩沖或收回。機(jī)械手具有抓夾功能。該項(xiàng)技術(shù)已經(jīng)成功應(yīng)用到核工業(yè)元 件加工過(guò)程中。相同的技術(shù)和功能可以方便的應(yīng)用和移植到其它應(yīng)用領(lǐng)域。 技術(shù)原理與工藝流程簡(jiǎn)介：利用數(shù)控氣動(dòng)閉環(huán)控制回路。三維柔性力緩沖 XY 方向±1 ㎜，Z 方向 10 ㎜，Z 向下插行程 0～500 ㎜可調(diào)，可以安裝各種用途 機(jī)械爪，具有形成阻尼緩沖和氣動(dòng)消音。 技術(shù)水平及專利與獲獎(jiǎng)情況：處于國(guó)內(nèi)同類型先進(jìn)技術(shù)水平。 56天津大學(xué)科技成果選編 應(yīng)用前景分析及效益預(yù)測(cè)：該類型機(jī)械手技術(shù)可以應(yīng)用于很多領(lǐng)域，如：機(jī) 械制造業(yè)、汽車工業(yè)、化工業(yè)、核能工業(yè)、生物工業(yè)、安全領(lǐng)域等需要提高作業(yè) 效率、精度、危險(xiǎn)環(huán)境等行業(yè)。 目前該技術(shù)成熟，整機(jī)價(jià)格在 10～16 萬(wàn)人民幣之間，可以進(jìn)行小批量工業(yè) 化生產(chǎn)。 應(yīng)用領(lǐng)域：械制造業(yè)、汽車工業(yè)、化工業(yè)、核能工業(yè)、生物工業(yè)、安全領(lǐng)域 等需要提高作業(yè)效率、精度、危險(xiǎn)環(huán)境等行業(yè)。 技術(shù)轉(zhuǎn)化條件（包括：原料、設(shè)備、廠房面積的要求及投資規(guī)模）： 所需原材料：均為市場(chǎng)上可采購(gòu)原材料，無(wú)特殊要求，例如：氣動(dòng)元件、機(jī) 械件等； 設(shè)備及環(huán)境要求： AC220V 電源、普通氣源； 所需廠房面積：普通廠房 100 平方米； 人員要求：若干機(jī)、電相關(guān)專業(yè)人員； 初期投資規(guī)模：除以上條件外需流動(dòng)資金 60～80 萬(wàn)。 合作方式及條件： 技術(shù)轉(zhuǎn)讓，轉(zhuǎn)讓費(fèi)：人民幣 50 萬(wàn)元； 合作生產(chǎn)，具體可面談。 

本發(fā)明提供了一種小型精密調(diào)平裝置，包括支撐平臺(tái)，支撐平臺(tái)螺紋聯(lián)接主調(diào)整螺桿，主調(diào)整螺桿上端端部伸出且緊靠支撐平臺(tái)上表面連接球鉸支座，主調(diào)整螺桿下端伸出支撐平臺(tái)下表面螺紋連接大錐齒輪，大錐齒輪與小錐齒輪相咬合，小錐齒輪的側(cè)部通過(guò)驅(qū)動(dòng)軸連接手輪，大錐齒輪的底部連接彈簧預(yù)緊組件，主調(diào)整螺桿下端端部螺紋副連接主鎖緊組件。本發(fā)明能快速完成重載工況下的部件調(diào)平，同樣適用于載荷不對(duì)稱情況下的調(diào)平，且裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，小巧，調(diào)整方便靈活，可成組使用以便于較大平面的調(diào)平。

1、項(xiàng)目簡(jiǎn)介 本項(xiàng)目由江南大學(xué)留美博士后趙永武教授獨(dú)創(chuàng).徹底地解決了高硬度零件和 表面帶氧化皮或銹斑零件拋光時(shí)間過(guò)長(zhǎng)或需要多步才能完成的技術(shù)難題，填補(bǔ)了 國(guó)內(nèi)空白。 2、創(chuàng)新要點(diǎn) （1）拋光速度快,效率高,時(shí)間短。是國(guó)內(nèi)現(xiàn)有拋光劑拋光速度的數(shù)倍至數(shù) 十倍以上。 （2）表面加工質(zhì)量?jī)?yōu)異。經(jīng)本拋光劑加工后的工件表面組織非常細(xì)膩，表 面粗糙度可達(dá) Ra0.02,零件光亮照人,形狀精度進(jìn)一步的提高,有可能省去超精 研工序。 （3）多功能化。具有去氧化皮,去銹,去油,防銹和拋光等多種功能,一步拋 光,同時(shí)完成。而國(guó)內(nèi)現(xiàn)有的拋光劑大多需要去氧化皮和除油等多道前處理工序， 耗時(shí)費(fèi)力。 （4）加工批量大。對(duì)于小零件一次可以加工成千上萬(wàn)件。 （5）零件的使用性能和壽命得到明顯提高。采用本拋光劑拋光后的零件在 運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的振動(dòng)和噪音顯著降低，而使用壽命大幅度提高。 （6）加工成本低.僅為磨削和精研成本的幾分之一。 （7）無(wú)毒無(wú)害，對(duì)環(huán)境友好,且操作方便,易于掌握。377 （8）本拋光劑既適用于螺旋振動(dòng)和離心式光飾機(jī),也適宜于滾筒和旋轉(zhuǎn)渦流 式等拋光機(jī)。 3、效益分析 對(duì)具備 10 臺(tái)機(jī)床的小型車間而言，每年凈提高產(chǎn)值 150 萬(wàn)元以上。 4、推廣情況 軸承、紡織、汽車、摩托車，縫紉機(jī)、日用五金、建筑五金、金屬工藝品， 五金工具、模具，液壓氣動(dòng)和精密機(jī)械等企業(yè)。 

低噪聲精密運(yùn)算放大器是現(xiàn)代無(wú)線通信雷達(dá)電子對(duì)抗系系統(tǒng)的前端，在放大信號(hào)的同時(shí)抑制噪聲干擾.提高系統(tǒng)靈敏度。船舶和電子信息等各大軍工系統(tǒng)的重點(diǎn)型號(hào)中均有應(yīng)用。

為滿足光電通訊、光學(xué)、信息等產(chǎn)業(yè)中小口徑非球面光學(xué)玻璃透鏡模具產(chǎn)業(yè)化的需求，研制了小口徑非球面光學(xué)玻璃透鏡模具超精密數(shù)控復(fù)合機(jī)床,具備納米級(jí)精度斜軸鏡面納米磨削、斜軸磁流變研拋、在線測(cè)量補(bǔ)償加工等功能，為小口徑非球面光學(xué)透鏡模具的產(chǎn)業(yè)化制造提供可靠的裝備支撐。分辨率10nm，主軸回轉(zhuǎn)精度50nm；加工對(duì)象為微小非球面透鏡及模具；加工口徑10mm以下；加工面形狀精度：PV小于300nm ，工件表面粗糙度小于Ra10nm。應(yīng)用領(lǐng)域包括集成電路（IC）、發(fā)光二極管（LED）、光學(xué)光電、MEMS、NTC、塑封件（QFN、BGA）、電子陶瓷、通訊、醫(yī)療器械等，能切割硅晶圓、砷化鎵、陶瓷、石英、PCB板、LED芯片、玻璃、鈮酸鋰、氧化鋁、藍(lán)寶石等。GUI交互界面。具備接觸式測(cè)高及非接觸式測(cè)高，刀痕檢測(cè)，具有切割深度自動(dòng)補(bǔ)償，刀片破損補(bǔ)償功能，能保證切割質(zhì)量。

本發(fā)明公開(kāi)了一種超精密工作臺(tái)，它包括宏運(yùn)動(dòng)平臺(tái)與微位移工作臺(tái)，其中宏運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的導(dǎo)軌形式采用氣浮導(dǎo)軌，微位移工作臺(tái)與宏運(yùn)動(dòng)平臺(tái)連接，并隨宏運(yùn)動(dòng)平臺(tái)一起沿 X 向、Y 向移動(dòng)。微位移工作臺(tái)中包含壓電智能結(jié)構(gòu)，其中該壓電智能結(jié)構(gòu)既能感知外界對(duì)其施加的力、位移等信號(hào)，又能主動(dòng)地對(duì)外界施加力、位移等。此外，壓電智能結(jié)構(gòu)不僅可以用于超精密工作臺(tái)的微位移工作臺(tái)中，而且也可以制成類似彈簧-阻尼系統(tǒng)的俘能機(jī)構(gòu)，應(yīng)用在超精密工作臺(tái)中。本發(fā)明可以廣泛應(yīng)用于超精密機(jī)床、超精密測(cè)量、微電子制造等領(lǐng)域。

本發(fā)明提供了一種結(jié)構(gòu)緊湊、集成度高的精密主動(dòng)減振裝置，它適用于需要進(jìn)行微幅振動(dòng)抑制的小質(zhì)量精密加工（測(cè)量）設(shè)備。該裝置主要包括既能感受振動(dòng)又能對(duì)振動(dòng)進(jìn)行抑制的壓電塊結(jié)構(gòu)、壓電塊提供垂向預(yù)壓力的折疊彈簧以及提供垂向被動(dòng)隔振的柔性鉸鏈。其中，壓電塊可以采用垂直布置，也可以采用 45 度傾斜布置，采用傾斜布置的壓電塊結(jié)構(gòu)可以同時(shí)測(cè)量和抑制水平向振動(dòng)和垂向振動(dòng)。另外，一種實(shí)現(xiàn)水平面隔振的減振裝置可以提供 360 度水平面的振動(dòng)隔離，其內(nèi)部采用線切割加工出螺旋線形槽。水平面隔振減振裝置與垂向精密主動(dòng)減振裝置結(jié)

本發(fā)明提供了一種結(jié)構(gòu)緊湊的超低頻精密主動(dòng)減振器，屬于超精密減振領(lǐng)域。該超低頻精密主動(dòng)減振器由負(fù)剛度機(jī)構(gòu)與空氣彈簧并聯(lián)組成被動(dòng)減振單元，由洛倫茲直線作動(dòng)器構(gòu)成主動(dòng)減振單元。負(fù)剛度機(jī)構(gòu)是由片彈簧、鉸鏈和剛性桿等組成的壓桿結(jié)構(gòu)。負(fù)剛度機(jī)構(gòu)安裝在空氣彈簧的腔室內(nèi)部，使減振器結(jié)構(gòu)更加緊湊。正負(fù)剛度并聯(lián)使得減振器具有大的承載力的同時(shí)具有極低的剛度，大大地降低了其固有頻率。洛倫茲直線作動(dòng)器用于提供主動(dòng)阻尼，實(shí)現(xiàn)主動(dòng)控制。本發(fā)明所提供的超低頻精密主動(dòng)減振器具有極低的固有頻率，不僅對(duì)高頻振動(dòng)干擾具有良好的隔振效果，還

1、項(xiàng)目簡(jiǎn)介 本項(xiàng)目由江南大學(xué)留美博士后趙永武教授獨(dú)創(chuàng).徹底地解決了高硬度零件和 表面帶氧化皮或銹斑零件拋光時(shí)間過(guò)長(zhǎng)或需要多步才能完成的技術(shù)難題，填補(bǔ)了 國(guó)內(nèi)空白。 2、創(chuàng)新要點(diǎn) （1）拋光速度快,效率高,時(shí)間短。是國(guó)內(nèi)現(xiàn)有拋光劑拋光速度的數(shù)倍至數(shù) 十倍以上。 （2）表面加工質(zhì)量?jī)?yōu)異。經(jīng)本拋光劑加工后的工件表面組織非常細(xì)膩，表 面粗糙度可達(dá) Ra0.02,零件光亮照人,形狀精度進(jìn)一步的提高,有可能省去超精 研工序。 （3）多功能化。具有去氧化皮,去銹,去油,防銹和拋光等多種功能,一步拋 光,同時(shí)完成。而國(guó)內(nèi)現(xiàn)有的拋光劑大多需要去氧化皮和除油等多道前處理工序， 耗時(shí)費(fèi)力。 （4）加工批量大。對(duì)于小零件一次可以加工成千上萬(wàn)件。 （5）零件的使用性能和壽命得到明顯提高。采用本拋光劑拋光后的零件在 運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的振動(dòng)和噪音顯著降低，而使用壽命大幅度提高。 （6）加工成本低.僅為磨削和精研成本的幾分之一。 （7）無(wú)毒無(wú)害，對(duì)環(huán)境友好,且操作方便,易于掌握。（8）本拋光劑既適用于螺旋振動(dòng)和離心式光飾機(jī),也適宜于滾筒和旋轉(zhuǎn)渦流 式等拋光機(jī)。 3、效益分析 對(duì)具備 10 臺(tái)機(jī)床的小型車間而言，每年凈提高產(chǎn)值 150 萬(wàn)元以上。 4、推廣情況 軸承、紡織、汽車、摩托車，縫紉機(jī)、日用五金、建筑五金、金屬工藝品， 五金工具、模具，液壓氣動(dòng)和精密機(jī)械等企業(yè)

成果創(chuàng)新點(diǎn) 1.溫飄、分辨率、穩(wěn)定性等指標(biāo)具有國(guó)際領(lǐng)先水平； 2.溫度自補(bǔ)償技術(shù)、信號(hào)源漂移自矯正技術(shù)、噪聲抑 制技術(shù)等是主要?jiǎng)?chuàng)新點(diǎn)。 技術(shù)成熟度 小試中試階段 市場(chǎng)前景 可用在大型天文望遠(yuǎn)鏡中作為邊緣傳感器；可以用在 精密車床、電子顯微鏡、原子力顯微鏡、共焦顯微鏡等中。 轉(zhuǎn)化計(jì)劃 預(yù)期轉(zhuǎn)化方式：自主轉(zhuǎn)化尋求投資，已于天使基金接 觸。