TCS208F 氣體熱導分析儀
產品詳細介紹
TCS208F采用先進的MEMS加工技術生產,利用被測組份和參考氣體的熱導系數不同而響應的濃度型傳感器。產品具有檢測范圍大、可靠性高、安裝方便、維護簡單等優點。可廣泛應用于天然氣,CH4、H2,CO2,CO,SF6,Xe,He,NH3等氣體成份檢測,也可用于測量非常小的氣體容積變化。
測量精度高
靈敏度高
集成溫度補償,漂移小
體積小,響應速度快
可以測量微小的氣體容量
高性價比
TO8封裝,抗沖擊能力強
詳細介紹:
1. 最大限值
最小
典型
最大
單位
熱功率P(Rm1+Rm2):
—
—
30
mW
測量溫度Tm
—
—
180
°C
環境溫度
-20
—
+85
°C
氣體壓力(1)
—
—
200
bar
注:由于膜的熱時間常數短,短時間的加過高的熱功率會毀壞傳感器。
2. 參數說明:
最小
典型
最大
單位
電阻,Rm1,Rm2(Tm=25°C)
92
100
115
?
電阻,Rt1,Rt2
220
240
275
?
商,Rtx / ( Rm1+Rm2 ),x∈{1,2}
1.13
1.2
1.27
1
阻抗差,Rm1 - Rm2
-2.0
—
+2.0
?
α=溫度系數,( Rm, Rt ) | 20 - 100°C
4.8(2)
5.5
5.9
10-3·K-1
G =幾何系數(3)
—
3.6
—
mm
τm =膜的熱時間常數
—
<5
—
ms
τdiffusion =氣體交換的時間常數
—
<100
—
ms
漂移( Rxy ) | x∈{m,t} ; y∈{1,2}
—
0.001
0.01
%/week
散射結構的體積
—
0.2
—
mm3
保持干凈的周圍環境空間大小
—
100
—
mm3
基礎材料
硅,采用蝕刻技術獲得微觀結構
尺寸結構: 包括底座
不包括底座
3mm × 3mm × 1mm
13mm ? × 15.4mm
暴露在空氣中的材料
Si, SiOxNy, 金, 環氧材料
注釋: (1) 根據供應商的說明書對于適當的設備提供的壓力參數
(2) α的最小值只適用于與低規格電壓輔助源結合的情況. 產品會不斷的改良使它更接近于DIN 43760的規格.
(3) 因數G是由內部的傳感器的機構決定的.
傳感器的機械測試:
振動: 符合IEC 68-2-6 附錄B (1982) 10圈,±1.5mm; 20g; 10..2000Hz; 1階/分鐘
沖擊: 符合IEC 68-2-27 修正#1 (82年10月),徑向和軸向各10次, 100g; 7.5ms / 300g; 2.5ms / 900g; 1.2ms.
上海維逸測控技術有限公司
2021-08-23