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本發(fā)明公開(kāi)了一種深硅刻蝕方法，包括如下步驟：（1）在硅片表面制備圖形化的光刻膠掩膜；（2）對(duì)硅片進(jìn)行深感應(yīng)耦合等離子體干法刻蝕，包括多個(gè)刻蝕階段，每個(gè)刻蝕階段均在感應(yīng)耦合等離子體機(jī)內(nèi)，通過(guò)鈍化、轟擊和刻蝕三個(gè)步驟交替循環(huán)加工完成，隨著刻蝕深度的增加，各刻蝕階段中轟擊步驟的轟擊強(qiáng)度逐漸增強(qiáng)。本發(fā)明有效解決了現(xiàn)有技術(shù)中側(cè)壁垂直度及粗糙度難以控制以及大刻蝕深度難以實(shí)現(xiàn)的問(wèn)題，在提高刻蝕效率的同時(shí)，提高了對(duì)光刻膠的選擇比，刻蝕槽側(cè)壁垂直度高，粗糙度小，刻蝕深度大。

主要生產(chǎn)藥用玻管、中性硼硅玻璃安瓿/小瓶、低硼硅玻璃安瓿/小瓶、低硼硅管制口服液體瓶等產(chǎn)品。現(xiàn)擁有14條國(guó)際先進(jìn)的拉管生產(chǎn)線，70余臺(tái)國(guó)際先進(jìn)的制瓶機(jī)，年產(chǎn)各類安瓿/管制瓶32億支，藥用玻管（精品7.0）30000噸。

本發(fā)明公開(kāi)了一種硅通孔結(jié)構(gòu)的制造方法，包括以下步驟：將硅片的厚度減薄至 5 微米至 20 微米；去除硅片表面的所有絕緣層；在硅片的導(dǎo)電區(qū)表面和絕緣區(qū)表面制作摻雜掩膜，以對(duì)導(dǎo)電區(qū)和絕緣區(qū)分別進(jìn)行粒子摻雜，絕緣區(qū)與導(dǎo)電區(qū)摻雜的粒子的極性相反；在粒子摻雜完成后去除摻雜掩膜；在導(dǎo)電區(qū)表面覆蓋金屬電極；在硅片的表面除金屬電極之外的區(qū)域覆蓋絕緣層。本發(fā)明的方法制造工藝簡(jiǎn)單，可避免刻蝕、絕緣處理等工藝對(duì)硅片的破壞，并能夠提高制造硅通孔結(jié)構(gòu)的成品率。本發(fā)明還公開(kāi)了一種硅通孔結(jié)構(gòu)。

本發(fā)明涉及一種磷回收用陶粒及其制備方法,以地鐵渣土50～80份、農(nóng)作物秸稈0～30份、氧化鎂15～30份和黏結(jié)劑羧基纖維素0～5份為原料制成坯料，經(jīng)過(guò)以下步驟制得：(1)將農(nóng)作物秸稈粉碎，將上述重量份數(shù)的原料進(jìn)行研磨混合，然后按水固比1：0.3～0.5制成陶粒坯料；(2)將陶粒坯料干燥2～4h，然后在100～200°C下保溫25～45min，再在300～500°C下燒結(jié)24～60min得到燒結(jié)物；(3)將上述燒結(jié)物進(jìn)行冷卻即得產(chǎn)品。本發(fā)明制備工藝簡(jiǎn)單，可實(shí)際操作性強(qiáng)，燒結(jié)溫度低，無(wú)需養(yǎng)護(hù)，所需原料種

成果簡(jiǎn)介： 環(huán)磷酸腺苷對(duì)調(diào)控細(xì)胞代謝及許多生理效應(yīng)發(fā)揮著重要作用，但其在臨床應(yīng)用上也存在著一些局限性。如其難以透過(guò)細(xì)胞膜，而且容易被細(xì)胞內(nèi)的磷酸二酯酶水解，因此需要對(duì)cAMP的結(jié)構(gòu)進(jìn)行修飾與改造，以消除上述缺限。如在環(huán)磷酸腺苷分子中加入兩個(gè)丁酰基，制成二丁酰環(huán)磷酸腺苷，以增強(qiáng)其脂溶性，使其可以順利通過(guò)細(xì)胞膜在細(xì)胞內(nèi)發(fā)揮作用，然后在細(xì)胞內(nèi)轉(zhuǎn)變成cAMP，從

一、項(xiàng)目簡(jiǎn)介為了保護(hù)環(huán)境，目前我國(guó)許多地方已經(jīng)禁用或限用三聚磷酸鈉作洗衣粉的助洗劑。為此無(wú)磷洗滌助劑一直是人們研究開(kāi)發(fā)的熱點(diǎn)，P型沸石是含磷洗滌助劑三聚磷酸鈉一種優(yōu)良替代產(chǎn)品，具有和4A沸石同等水平的鈣吸附能力以及比它更高的鎂吸附能力，因此P型沸石比4A沸石更適合做洗滌助劑。本項(xiàng)目以膨潤(rùn)土為原料，采用堿法活化方法，開(kāi)辟一條具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的生產(chǎn)P型沸石新工藝，該工藝克服了在目前膨潤(rùn)土酸法深加工方面的不足，具有生產(chǎn)工藝簡(jiǎn)單、投資少、操作無(wú)污染、成本低等特點(diǎn)，產(chǎn)品性能高于4A沸石，有很強(qiáng)的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)能力。本技術(shù)已經(jīng)申報(bào)兩項(xiàng)國(guó)家發(fā)明專利。二、產(chǎn)品質(zhì)量指標(biāo)沸石P的優(yōu)點(diǎn)在于：①交換Ca2+速度快；②結(jié)合Ca2+的容量高；③具有高吸納表面活性劑能力和良好的可加工性；④有良好的吸油性，對(duì)去油污垢有利；⑤對(duì)漂白劑穩(wěn)定。本技術(shù)合成的P型洗滌用沸石綜合性能性能 鈣離子交換 ( mgCaCO3/g干P型沸石) 粒度 （%） 白度（W=Y） PH 值(1%溶液，25℃) 灼燒失量(800±10℃ ,3h) %≤10μm ≤4μmP型分子篩 320 ≥99 ≥94 95 10.35 16.42三、市場(chǎng)前景現(xiàn)在全國(guó)洗衣粉生產(chǎn)能力為230萬(wàn)t／a，普通洗衣粉含三聚磷酸鈉約15％，如全部以P沸石代替，我國(guó)約需P沸石30萬(wàn)t／a左右。此外P沸石還在催化、水處理等領(lǐng)域有有著廣泛的用途，可見(jiàn)我國(guó)P沸石生產(chǎn)發(fā)展?jié)摿薮蟆Ｄ壳拔覈?guó)P沸石產(chǎn)量和生產(chǎn)能力幾乎為零，需要大力推廣生產(chǎn)。四、生產(chǎn)設(shè)備及投資高溫爐（或高壓反應(yīng)釜裝置）、水熱合成陶瓷反應(yīng)釜、板框過(guò)濾機(jī)、晶化反應(yīng)釜、干燥設(shè)備器等。主設(shè)備投資約為70萬(wàn)元。五、效益分析1、以膨潤(rùn)土為原料生產(chǎn)1噸P型沸石分子篩，綜合成本：1963.8+100+70+200+200=2533.8元/噸2、以高嶺土為原料生產(chǎn)1噸P型沸石分子篩，綜合成本：1090.8+100+70+200+200=1660.8元/噸六、合作方式面議。

小試階段/n本發(fā)明解決磷石膏分解溫度高、能耗大、尾渣成分單一、附加值不高、直接經(jīng)濟(jì)效益不明顯的技術(shù)問(wèn)題。本發(fā)明不僅能有效降低反應(yīng)溫度、加快反應(yīng)速度、減少能耗和降低生產(chǎn)成本，且能實(shí)現(xiàn)對(duì)固體產(chǎn)物成分的精確控制。本發(fā)明處于待轉(zhuǎn)化階段，應(yīng)用范圍廣闊，市場(chǎng)前景可觀，預(yù)期經(jīng)濟(jì)效益優(yōu)異。

該技術(shù) COD 消耗量節(jié)省 40%以上，有效解決了現(xiàn)階段污水脫氮除磷中碳源不足的問(wèn)題，可提高脫氮除磷效果，除磷效率接近 100%。該項(xiàng)技術(shù)，還可靈活應(yīng)用到現(xiàn)有的污水處理工藝中，如連續(xù)流的 A2/O、或續(xù)批式 SBR 工藝等。該技術(shù)除了有效提高碳源利用率外，還可降低氧氣消耗量 30%，減少污泥產(chǎn)量 50%。此工藝的最大特點(diǎn)是，利用反硝化聚磷菌生物學(xué)特性達(dá)到“一碳兩用”的目的， 有效提高脫氮除磷效率。

磷青銅線/低溫雙絞線/低溫雙絞排線/康銅線/低溫雙絞康銅/低溫錳銅線  低溫編織排線磷青銅康銅低溫雙絞排線  您也可以在淘寶網(wǎng)首頁(yè)搜索“錦正茂科技”，就能看到我們的企業(yè)店鋪，聯(lián)系更加方便快速！ 低溫編織排線，導(dǎo)體材質(zhì)有磷青銅和康銅，兼容高真空、低溫環(huán)境。 您也可以在淘寶網(wǎng)首頁(yè)搜索“錦正茂科技”，就能看到我們的企業(yè)店鋪，聯(lián)系更加方便快速！ 規(guī)格： ※ 雙絞線規(guī)格：線徑0.1mm；Kapton絕緣層；耐溫液氦-300℃ ※ 織線規(guī)格:12對(duì)雙絞排線，雙絞絞距6.5mm。 磷青銅康銅編織排線低溫雙絞排線兼容高真空10-10Pa、低溫環(huán)境液氦4.2K 您也可以在淘寶網(wǎng)首頁(yè)搜索“錦正茂科技”，就能看到我們的企業(yè)店鋪，聯(lián)系更加方便快速！ 磷青銅（偏黃色）低溫雙絞排線，每米7.4歐電阻,單根15.4歐電阻  康銅線（偏綠色）低溫雙絞排線，每米31.2歐電阻,單根62.1歐姆電阻 低溫編織排線磷青銅康銅低溫雙絞排線 您也可以在淘寶網(wǎng)首頁(yè)搜索“錦正茂科技”，就能看到我們的企業(yè)店鋪，聯(lián)系更加方便快速！ 您也可以在淘寶網(wǎng)首頁(yè)搜索“錦正茂科技”，就能看到我們的企業(yè)店鋪，聯(lián)系更加方便快速！ 錦正科技以現(xiàn)代高科技產(chǎn)業(yè)和傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)為核心業(yè)務(wù)，對(duì)內(nèi)承接科研生產(chǎn)任務(wù)，對(duì)外以商務(wù)平臺(tái)方式實(shí)現(xiàn)軍民兩用技術(shù)成果轉(zhuǎn)換，形成了科學(xué)管理的現(xiàn)代化經(jīng)營(yíng)模式，專門從事物理、化學(xué)和材料等領(lǐng)域的科學(xué)儀器研發(fā)、銷售各類型超低溫測(cè)試設(shè)備（液氮 液氦）制冷機(jī)系統(tǒng)集成 ，定制 ，高低溫真空磁場(chǎng)發(fā)生系統(tǒng)，Helmholtz線圈（全套解決方案），電磁鐵（全系列支持定制），螺線管，電子槍（高穩(wěn)定性雙極性磁鐵恒流電源1ppm），高低溫磁場(chǎng)真空探針臺(tái)，霍爾測(cè)試系統(tǒng)，電輸運(yùn)測(cè)量解決方案，磁光克爾效應(yīng)測(cè)量系統(tǒng)等產(chǎn)品種類齊全，性能可靠，至今已有近10余年的歷史，是國(guó)內(nèi)（較早）生產(chǎn)探針臺(tái)，電輸運(yùn)，電磁鐵的廠家之一。    

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