一種動(dòng)磁式長行程超精密直線運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)
本發(fā)明公開了一種動(dòng)磁式長行程超精密直線運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu),包括定 子線圈組件、氣浮支承組件和永磁體動(dòng)子組件,定子線圈組件包括定子氣浮導(dǎo)軌和電感組件;氣浮支承組件包括氣浮軸承;永磁體動(dòng)子組 件包括動(dòng)子基座、永磁體安裝座及永磁體組,動(dòng)子基座固定安裝在氣 浮軸承上,動(dòng)子基座向下設(shè)置永磁體安裝座,每個(gè)永磁體安裝座上安 裝一永磁體組,永磁體組包括多個(gè)永磁體,并且同一永磁體安裝座上 的永磁體的同一側(cè)磁場極性相同,以用于驅(qū)動(dòng)永磁體組和氣浮軸承沿 定子氣浮導(dǎo)軌的縱向移動(dòng)。本發(fā)明采用均勻布置的長行程線圈繞組作 為定子,與傳統(tǒng)的
華中科技大學(xué)
2021-04-14