一種固定音圈電機直驅(qū)式 X-Y 微動平臺
本發(fā)明涉及一種直線電機直驅(qū)的二維微動平臺,為一種固定音圈電機直驅(qū)式 X-Y 微動平臺,包括基座、音圈直線電機、X 向運動平臺、Y 向運動平臺、解耦部件和光柵尺等。音圈直線電機直接驅(qū)動 X-Y二維微動平臺;X 方向和 Y 方向音圈直線電機均固接于底座,通過解耦部件實現(xiàn) X 向和 Y 向的運動;利用光柵尺來檢測電機位置。本發(fā)明為提高運動速度和運動精度,屏棄了傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)電機傳動機構,采用直線電機直接驅(qū)動;為降低運動慣量,設計了解耦部件,X、Y 向直線電機均固定來實現(xiàn) X-Y 二維運動;為實現(xiàn)高精度、高穩(wěn)定
華中科技大學
2021-04-14