用于單晶生長裝置的結(jié)晶區(qū)溫度梯度調(diào)節(jié)器
一種用于單晶生長裝置的結(jié)晶區(qū)溫度梯度調(diào)節(jié)器,由保溫隔熱材料制作的座板和保溫隔熱材料制作的動板組成;座板上設(shè)置有一底部為平面的凹槽,凹槽的中心部位開設(shè)有大于坩堝套外徑的通孔I,凹槽的環(huán)面上開設(shè)有調(diào)溫孔I;動板的形狀和徑向尺寸與座板上設(shè)置的凹槽相匹配,動板中心部位開設(shè)有與通孔I尺寸相同的通孔II,動板環(huán)面上開設(shè)有調(diào)溫孔II,調(diào)溫孔II與調(diào)溫孔I形狀、尺寸、數(shù)量、間距相同;動板放置在座板所設(shè)置的凹槽中,其與凹槽為動配合,座板固定在坩堝下降法單晶生長裝置爐體上。此種調(diào)節(jié)器結(jié)構(gòu)簡單,使用方便,調(diào)節(jié)單晶生長爐結(jié)晶區(qū)溫度梯度時靈敏度高,使結(jié)晶區(qū)溫度梯度可在大范圍內(nèi)調(diào)整,易于獲得窄溫區(qū)、大溫梯的溫場分布。
四川大學
2021-04-11