激光光源傳輸腔室的溫控與凈化控制方法和系統
本發明公開了一種激光光源的傳輸腔室內的溫控與凈化控制系 統,包括:設置在光路傳輸通道的模塊腔體之前的二級調壓閥,用于 調節待進入模塊腔體的通道中的氣體壓力;設置在光路傳輸通道的氣 體凈化裝置和模塊腔體之間的毛細管,用于保證光路傳輸腔室氣壓與 外界氣壓有微正壓;以及設置在光路傳輸通道的模塊腔體之后的節流 閥,且每個模塊腔體之后對應設置一個所述的節流閥,用于調節各模 塊腔室與環境大氣壓的壓差。本發明還公開了相應的溫控與凈化控制 方法。本發明的裝置和方法通過控制腔體與外界的壓差恒定,同時通 過加熱器和熱交
華中科技大學
2021-04-14