高性能脈沖壓縮光柵和合束光柵研發(fā)及應(yīng)用
光柵尺寸在國(guó)際上居于領(lǐng)先地位,最大達(dá)到了 1400mm, 遠(yuǎn)超對(duì)手的 940mm;研制了一系列國(guó)內(nèi)首臺(tái)(套)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的米量級(jí)光柵研制工藝關(guān)鍵設(shè)備;在國(guó)際上首創(chuàng)了曝光拼接方法,實(shí)現(xiàn)了利用小口徑曝光系統(tǒng),制作出了遠(yuǎn) 大于曝光系統(tǒng)口徑的光柵;掌握了脈沖壓縮光柵設(shè)計(jì)、工 藝容差分析和工藝過(guò)程控制技術(shù),通過(guò)對(duì)曝光監(jiān)測(cè)、顯影監(jiān)測(cè)和刻蝕監(jiān)測(cè)來(lái)保證光柵制作工藝的穩(wěn)定性,保證了光柵制作質(zhì)量;首次對(duì)大口徑高閾值光柵采用了綜合清洗技術(shù)處理,提高了光柵的衍射效率和抗激光損傷閾值。
中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)
2023-05-25