固支梁間接加熱在線式已知頻率微波相位檢測(cè)器
本發(fā)明的固支梁間接加熱在線式已知頻率微波相位檢測(cè)器由六端口固支梁耦合器、微波相位檢測(cè)器和間接加熱式微波功率傳感器級(jí)聯(lián)構(gòu)成;六端口固支梁耦合器由共面波導(dǎo),介質(zhì)層,空氣層和固支梁構(gòu)成;共面波導(dǎo)制作在SiO2層上,固支梁的下方沉積介質(zhì)層,并與空氣層共同構(gòu)成耦合電容結(jié)構(gòu),兩個(gè)固支梁之間的共面波導(dǎo)長(zhǎng)度為λ/4;六端口固支梁耦合器的第一端口到第三端口、第四端口及第一端口到第五端口、第六端口的功率耦合度分別相同,待測(cè)信號(hào)經(jīng)六端口固支梁耦合器的第一端口輸入,由第三端口和第五端口輸出到間接加熱式微波功率傳感器,由第四
東南大學(xué)
2021-04-14