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一種高靈敏的ZnO/AlN核鞘納米棒陣列紫外光探測器的制備方法
本發(fā)明公開了一種高靈敏的ZnO/AlN核鞘納米棒陣列紫外光探測器的制備方法，包括如下步驟：在藍(lán)寶石襯底上生長ZnO納米棒陣列；采用磁控濺射法在ZnO納米棒上濺射不同厚度的AlN鞘層薄膜；采用濺射法或者電子束蒸鍍分別在ZnO/AlN核鞘納米棒陣列兩端制備具有歐姆接觸的金屬電極，構(gòu)成完整的器件。本發(fā)明通過簡單的磁控濺射方法，控制濺射時間，在ZnO納米棒上生長不同厚度、表面光滑均一的AlN鞘層薄膜，制備的ZnO/AlN核鞘光探測器件不僅具有更好的紫外光響應(yīng)，在360nm紫外光照射下，電壓為5V時，明暗電流比為5.5×103，提高了一個數(shù)量級，同時具有更快速的響應(yīng)和恢復(fù)時間，分別是0.883和0.956s。
東南大學(xué)
2021-04-11
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安徽大學(xué)謝峰老師課題組在寬禁帶半導(dǎo)體紫外探測和激光器研制方面取得新進展
近期，信息材料與智能感知安徽省實驗室謝峰老師課題組在寬禁帶半導(dǎo)體日盲紫外探測器和白光激光器研究方面取得新進展，相關(guān)研究成果相繼發(fā)表在國際知名期刊Opt.Express和IEEETrans.ElectronDevices上，三篇論文均以安徽大學(xué)信息材料與智能感知安徽省實驗室為第一單位，謝峰老師為論文第一作者。
安徽大學(xué)
2022-08-26