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半導體設備超潔凈流控系統及其受制約流控零部件
浙江大學聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術
一、項目分類
關鍵核心技術突破
二、技術分析
如何通過超潔凈流控技術降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產高端半導體制造裝備研制面臨的重大挑戰，直接關乎整機產品的產線應用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導體制造裝備產業面臨核心零部件“卡脖子”風險。浙江大學流體動力與機電系統國家重點實驗室啟爾團隊所承擔的高端半導體制造裝備核心分系統之一的超潔凈流控系統，自2004年以來在國家863計劃和國家02專項支持，聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術，完成了超潔凈流控系統九大組件的研制和集成測試，為半導體制造設備掃描速度與產能的提高提供基礎理論與方法依據，同時自主研發的半導體機臺核心超潔凈流控零部件實現了產品化，突破了國外技術的封鎖，為我國半導體制造的發展與自主創新提供了基礎支撐。
浙江大學
2022-07-22
沈陽農業大學特種玉米研究所選育的玉米新品種‘沈農T120’實現成果轉化
沈陽農業大學特種玉米研究所選育的玉米新品種‘沈農T120’實現成果轉化
沈陽農業大學
2025-05-21
利用轉爐 LT 灰制備氧化鐵紅（α-Fe 2 O 3 ）
LT 灰中主要含有鐵氧化物（磁鐵礦與赤鐵礦）和硅酸鹽（鐵橄欖石和鈣鐵輝石、透輝石），它們物性差異較大，比磁化率在不同量級，利用其物性差異通過強磁場將鐵氧化物和硅酸鹽等雜質分離，實現氧化鐵的富集與提取。提取后的氧化物再經過低溫改性，即可制備α-Fe 2 O 3 產品。
北京科技大學
2021-04-13
CO和H2O一步制備油品新催化過程
首次 實現 將水汽遷移反應與費托合成反應成功 耦合 ， 構建了水汽遷移反應活性中心 Pt-Mo 2 C/C 和費托合成反應活性中心 Ru/C 。將兩種催化劑 進行簡單的物理混合，通過調節兩種活性中心的 結構和 比例調控各自的反應速率。 實現了在低溫 200 o C 的條件下，將 CO 和水 一步 直接轉化制備油品的過程 。 該過程中費托反應的活性高達 8.7 mol -CH2- mol Ru -1 h -1 ，與在合成氣（ H 2 /CO=2 ） 條件下 Ru/C 催化劑 的費托活性相當，且費托產物中 C5+ 油相產物的選擇性接近 70% 。 對比雙金屬催化劑 RuPt-Mo 2 C/C 和物理混合催化劑的結果，發現兩種活性金屬 Pt 和 Ru 的結合形式在催化反應中起了十分重要的影響。當 Pt 和 Ru 形成 PtRu 合金后會同時削弱 WGS 和 FTS 兩個反應的的活性，進而打破兩個反應之間的動力學平衡。而當兩種活性中心分別作用的時候則剛好使兩個反應的動力學速率達到平衡，實現最優的 CO 和水轉化制備油品的活性和選擇性。
北京大學
2021-04-11
一種Al2O3-SiC泡沫陶瓷及其制備方法
小試階段/n針對多孔介質燃燒器用泡沫陶瓷目前存在的常溫強度以及熱震穩定性能差等問題，本發明制備了一種Al2O3-SiC復合泡沫陶瓷。該陶瓷克服現有技術缺陷，具有強度高、抗氧化性能好和抗熱震性能優良等優點。
武漢科技大學
2021-01-12
復合材料五軸加工中心NF5-2636-F
該產品采用跟隨龍門式防護罩 ，全包圍架構 ，有效防止飛屑的任意飛濺和提高設備 的安全性能
諾伯特智能裝備（山東）有限公司
2021-08-30
KZ-5F-3D 三維冷凍研磨儀
KZ-5F-3D三維冷凍研磨儀是采用特殊三維一體的運行模式，樣品在空間呈“∞”字形三維運動，在極短時間內完成樣品的破碎，是滿足研究院、大學、農業院、生物醫藥、食品檢測等領域的多樣品一次性快速處理的專用設備。
三維冷凍研磨儀很大程度避免了核酸的降解和蛋白的變性，研磨過程中產生熱量少，對核酸和蛋白質幾乎無破壞作用，完整度高，適用于全基因的建庫克隆和測序。
可處理的樣品種類廣泛：
a.組織包括根、莖、葉、花、果、種子等樣品的研磨破碎；
b.適用于各種動物組織包括大腦、心臟、肺、胃、肝臟、胸腺、腎臟、腸、淋巴結、肌肉、骨骼等樣品的研磨破碎；
c.適用于細胞、微生物的研磨破碎；
d.適用于食品、藥品成分分析檢測的研磨破碎；
采用的是封閉式的一次性離心管，可有效避免樣品之間的交叉污染；
實驗重復性強，設定相同的研磨頻率及時間，可獲得相同的研磨效果；
壓縮機制冷功能：-40℃至室溫； 控溫精度：±1℃；
武漢賽維爾生物科技有限公司
2021-12-09
愛普生CB-735F激光高清超短焦投影機
愛普生（中國）有限公司
2021-08-23
全鋼筆記本演講臺ZTDMT-06F
產品詳細介紹1、材料：選用精裝冷軋鋼板經折彎焊接而成，克服了木制講臺散熱差，不防火不牢固的缺點。2、表面處理：經酸洗、磷化防腐防銹后靜電噴塑，正常使用塑面經久耐用。3、設備箱內隔板活動可調。內部可放筆記本 功放 視頻展示臺等教學設備。4、安全防盜，鎖好講桌后，桌外無任何可拆卸鑼釘。5、外型尺寸：900×700×900 MM
長沙眾互通電氣設備有限公司
2021-08-23
ZL-01F幼鼠單臂腦力體定位儀
簡單介紹：
幼鼠單臂腦力體定位儀又稱腦固定裝置，它是利用顱骨外面的標志或其它參考點所規定的三度坐標系統，來確定皮層下某些神經結構的位置，以便在非直視暴露下對其進行定向的刺激、破壞、引導電位等研究。給試驗提供了一個寬敞、開闊的空間，方便實驗人員對幼鼠進行頭部定位操作。
詳情介紹：
1 小型的底板尺寸255mm x 255mm（單只小鼠試驗）；2 大底板尺寸400 X 255（可2只小鼠試驗操作）3 耳桿材質：黑色聚甲醛樹脂材料,刻線清晰手感輕盈；4 門齒夾上下調整范圍：0 ～ 20mm)5 耳桿上下調整范圍：0 ～ 20mm)6 耳桿帶有刻度線（精度1mm），方便平衡固定操作
7耳桿具有插入固定方式（18度鈍頭和圓形中空鋸齒），防止損傷顱骨
8． 可選配增加雙臂方式
安徽耀坤生物科技有限公司
2022-05-26