一種熱鍵合裝置
本發(fā)明提供了一種熱鍵合裝置,主要包括外腔、加壓裝置、上加熱器和位于外腔底部的基座,基座中間部分為凸臺(tái),凸臺(tái)內(nèi)設(shè)有沉控,沉孔內(nèi)裝有彈簧,彈簧伸出凸臺(tái)的一端上放置球頭小柱,在球頭小柱上依次放置隔熱板和下加熱器;在基座凸臺(tái)兩側(cè)設(shè)有兩支撐架,用于用于支撐下工作臺(tái)機(jī)構(gòu);在下彈簧與下工作臺(tái)機(jī)構(gòu)接觸處上端的導(dǎo)桿上套有上彈簧,用于支撐上工作臺(tái)機(jī)構(gòu)。本發(fā)明通過三種彈簧設(shè)置使上下加熱器和上下工作臺(tái)之間均勻壓緊,實(shí)現(xiàn)鍵合樣片之間的均勻貼緊。
華中科技大學(xué)
2021-04-14