掃描數(shù)字剪切散斑干涉儀
掃描數(shù)字剪切散斑干涉儀利用激光散斑剪切干涉和線陣CCD掃描原理, 將激光束擴束后照射在具有光學(xué)粗糙的物體表面,并以線陣CCD掃描記錄 待測物體表面變形前后的剪切散斑像,進(jìn)而利用數(shù)字圖像處理技術(shù),獲 得反映物體表面形變的數(shù)字剪切散班干涉圖樣,由該圖樣可以獲得物體 表面形變信息或相關(guān)區(qū)域的缺陷特征,實現(xiàn)無損檢測目的?;谔厥庠O(shè) 計的微位移移動軌道和CCD掃描技術(shù)的應(yīng)用,以及剪切鏡的靈活設(shè)計,可 以有效增大測量視場并提高缺陷檢測靈敏度。 該
西北工業(yè)大學(xué)
2021-04-14