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新型諧振MEMS微慣性傳感器
針對我國在軍事、工業等領域對高性能、小尺寸、高可靠性MEMS微慣性傳感器日益迫切的需求，上海交通大學自2001年起就開展基于MEMS技術的微慣性傳感器的研究，已成功研制十余款傳感器樣機，在研的半球諧振微陀螺、圓盤多環微陀螺等預期體積小于1cm3，成本低于50美元，功耗低于100mW，有望達到慣性級，在微小衛星、微航天器等場合極具應用潛力。與傳統的微陀螺相比，該陀螺無運動部件，抗沖擊性更好；同時該陀螺可以采用角速度檢測和角速度積分檢測兩種工作模式，極大的提升了其應用場合與范圍，特別適合在高G環境下進行空間位置測量、導航與姿態控制等。此外，其在消費電子市場以及汽車市場也擁有這巨大的應用空間，如手機、游戲機等手持電子設備的姿態控制系統，照相機、攝像機的穩定電子平臺，汽車的防翻車預警系統等。。相關研究內容作為重要組成部分曾獲省部級及以上獎勵多次，授權發明專利幾十余項，微陀螺方面的專利國內第一，國際第二，發表SCI/EI等論文幾十篇。
上海交通大學
2021-04-13
一種用于捕獲循環腫瘤細胞的微流道結構及其制備方法
本發明公開了一種用于捕獲循環腫瘤細胞的微流道結構及其制 造方法，該方法包括：（1）在單晶硅片表面勻膠、光刻得到光刻膠掩膜；（2）基于光刻膠掩膜，使用感應耦合等離子體反應刻蝕技術 ICP 在單晶硅片上刻蝕出微米級別的凹槽及槽內均勻分布的硅微米柱陣 列；（3）在微米柱表面制備納米線陣列；（4）對凹槽進行封裝。按 照本發明，可以獲得一種用于循環腫瘤細胞檢測的微納復合微流道結 構，這種檢測結構具有靈敏度高、效率高等特點。
華中科技大學
2021-04-11
一種高分子聚合物微流控芯片的制備方法
本發明涉及一種微流控芯片制作技術，主要用于高分子聚合物材質微流控芯片制作，其特征在于利用 CNC 雕刻機直接加工微流控設備， 即利用數控軟件進行微流控芯片的通道設計，得到相應的雕刻路徑， 編寫雕刻用代碼；將雕刻代碼導入控制 CNC 雕刻機的軟件中，對要進行制作的高分子聚合物材料進行制作；圖案制作結束后，根據不同要求，封接芯片，即可得到功能化的微流控設備。 技術特點：極大的降低高分子聚合物微流控芯片的制作成本，簡單易用，快速制備，有利于芯片的大批量生產，并能靈活的調節芯片 微通道深度，有利于實現微流控
蘭州大學
2021-01-12
基于磁流體微流控技術高效制備均一微細球形顆粒的研究
北京工業大學
2021-04-14
一種用于捕獲循環腫瘤細胞的微流道結構及其制備方法
本發明公開了一種用于捕獲循環腫瘤細胞的微流道結構及其制造方法，該方法包括：（1）在單晶硅片表面勻膠、光刻得到光刻膠掩膜；（2）基于光刻膠掩膜，使用感應耦合等離子體反應刻蝕技術 ICP在單晶硅片上刻蝕出微米級別的凹槽及槽內均勻分布的硅微米柱陣列；（3）在微米柱表面制備納米線陣列；（4）對凹槽進行封裝。按照本發明，可以獲得一種用于循環腫瘤細胞檢測的微納復合微流道結構，這種檢測結構具有靈敏度高、效率高等特點。
華中科技大學
2021-04-14
一種基于瓊脂糖微流控芯片的細菌富集裝置
本發明公開了一種基于瓊脂糖微流控芯片的細菌富集裝置及其制作方法，該裝置包括貼合的瓊脂糖薄層和親水性薄層，所述瓊脂糖薄層為二分樹式通道結構，具有多個開放的溶液通道入口和一個用于細胞收集的封閉的通道末端，該裝置的制作方法包括兩個步驟：(1)包括制作二分樹式通道結構的陽膜來制作出瓊脂糖薄層；(2)與親水性薄層基片貼合并且封裝從而制作出微流控裝置。通過本發明，解決克服現有細菌富集微流控裝置效率不高，裝置結構復雜的技術問題。
華中科技大學
2021-04-14
XP-S型高效節能旋流除塵器
對現行XLP/B型除塵器進行結構創新設計，開發了一種針對小型燃煤鍋爐煙氣除塵的新技術——XP-S小型燃煤鍋爐通用旋流除塵器。結合工程運行經驗，創新設計的XP-S小型燃煤鍋爐通用旋流除塵器結構上采用了螺旋翅片錐形升氣管、碎渦器、穩渦器、二分“脊”式導流片、以及異錐形出口蝸殼、月牙形旁路、雙斗異型排灰系統及鴨嘴式排灰閥、異形入口縮放管等創新方案,在形式上采用了負壓風機與出口蝸殼組合、錐形密封槽以及其相配的新型密封材料等措施。使除塵器在整體尺寸、除塵效率、風機耐受性、密封性上等方面都更能適合于小型燃煤鍋爐的需要。目前，該技術已完成設計程序開發，正進行樣機加工制作和技術專利申請工作。希望進行技術轉讓或以技術入股形式合作開發生產。
集美大學
2021-04-29
一種噴淋塔壁流效果測試器
小試階段/n本發明針對目前小型噴淋塔存在的壁流現象，提供一種噴淋塔壁流效果測試器，為實驗室小型噴淋塔的設計提供依據，保證整套脫除系統正常運行和試驗數據的準確性。。為了實現上述目的，本發明的噴淋塔壁流效果測試器采用的技術方案是：。一種噴淋塔壁流效果測試器，包括升降器、模擬塔體、液滴收集器、供水泵與水槽，所述水槽為桶狀且標注有刻度，所述位于模擬塔體內的液滴收集器為塑料的漏斗狀且與水槽連通，所述升降器由電機、吊索、轉軸與支撐桿組成，所述轉軸與液滴收集器由吊索連接，所述電機與轉軸由皮帶傳動，所述轉軸與支撐桿
武漢科技大學
2021-01-12
面向片式多核處理器的流編譯優化方法
本發明公開了一種面向片式多核處理器的流編譯優化方法，包 括：生成軟件流水調度表的軟件流水調度步驟；根據軟件流水調度表 將計算任務所需的數據在片式多核處理器片上的 SPM 和主存上進行 緩存分配的存儲訪問優化步驟；根據片式多核處理器的片上網絡拓撲 結構確定通信量最小的映射方式，以將軟件流水調度表中各個虛擬處 理核根據映射方式調度映射到實際物理核上的通信優化步驟。本發明 的方法結合了流程序與系統結構相關的優化技術，充分發
華中科技大學
2021-04-14
超高分辨柔性流場感知系統
與高速飛行的飛機不同，微小型無人機體積小，重量輕，飛行速度低，更容易受到環境湍流的影響，需要高靈敏度的小型氣流傳感器提供全面的空氣動力學信息。如何讓微小型無人機像鳥類一樣感知和操縱氣流一直是航空和傳感器領域的難題。
面向微小型無人機的飛行參數測量，北航研發團隊研制出一種基于氧化釩的高靈敏度柔性流速傳感器，實現了0.11 mm/s和0.1°的超高流速和角度分辨力，實驗驗證了攻角、側滑角和空速的多參數感知能力，并完成了微小型無人機飛行速度以及機翼微振動的測量，為微小型無人機提供了低成本、高精度的大氣參數傳感方案。
該傳感器基于量熱式原理，由中心微加熱器產生恒定溫差，四周的熱敏電阻陣列測量溫度分布，根據熱敏電阻陣列測得的溫度差準確反映流速大小及方向。采用懸空型隔熱結構以及高電阻溫度系數材料氧化釩作為熱敏電阻以增大傳感器的測量靈敏度。在聚酰亞胺基底上通過MEMS工藝加工了總厚度90μm的超薄柔性流速傳感器，實現了微小型無人機的曲面貼附功能。經風洞測試，流速傳感器的理論分辨力達0.11 mm/s,流速測量重復精度約為測量值的0.5%，響應時間約為20ms。在10 m/s時，流速傳感器的最大角度靈敏度為36.7 mV/deg，噪音水平為1.78 mV，根據2σ準則計算出其理論角度分辨力為0.1°。
研究團隊已經完成流速傳感器工程化樣品的制備，并將兩個流速傳感器裝載到一個微小型無人機平臺上進行飛行參數感知應用。結果表明平均飛行速度的估計誤差低于0.2 m/s。由于流速傳感器的高靈敏度特性，它甚至捕捉到了機翼的微振動信息，并與外置IMU模塊顯示了相同的機翼振動頻率。這項研究展示了一種柔性高靈敏度流速傳感器，拓寬了流場感知在微小型無人機姿態檢測、空速估計以及飛行安全監測方面的應用，為無人機的飛行參數測量提供了創新的設計思路與發展前景。
北京航空航天大學
2024-07-08