一種集成加熱部件的微型氣敏傳感器的制作工藝
本發(fā)明公開了一種集成加熱部件的微型氣敏傳感器的制作工藝,步驟為:①在基底上勻膠和光刻顯影,形成叉指形狀的光刻膠圖形; ②將基底在保護氣氛下進行熱解,形成玻碳叉指電極;③在玻碳叉指 電極上勻膠并光刻顯影;④再次熱解,得到具有氣體敏感材料和加熱 部件的叉指電極氣敏傳感器。本發(fā)明利用光刻和熱解技術(shù)先制作完成 加熱部件和氣敏部分,不需要另外加上檢測電路,以及另外旋涂敏感 材料。本工藝的特點是將氣體敏感材料部分和加熱器件集成為一體, 而且制作的工藝就是常規(guī)的光刻、熱解等工藝,相對于現(xiàn)有的氣敏傳 感器的加熱部件具有尺寸小,耗費能量小,制作簡單的優(yōu)點。
華中科技大學
2021-04-11