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一種微型皮拉尼計(jì)，屬于微機(jī)電系統(tǒng)的真空度測(cè)量器件，克服現(xiàn)有微型皮拉尼計(jì)體積大、靈敏度不夠高的問(wèn)題。本發(fā)明在硅襯底上具有凹槽，凹槽表面架有隔熱層，隔熱層表面覆蓋絕緣層，絕緣層上濺射有加熱體，加熱體的兩端濺射有金屬電極；所述加熱體為形狀彎曲的鉑或鎳金屬；所述絕緣層材料為氮化硅或二氧化硅；所述隔熱層材料為二氧化硅、氮化硅中的一種或兩種。本發(fā)明體積小、重量輕而且性能穩(wěn)定，加熱體采用金屬鉑，它的線性度好、性能穩(wěn)定、靈敏度高、有良好的化學(xué)穩(wěn)定性；其制造工藝簡(jiǎn)單、成本低、成品率高、可靠性高。適用于各種大小真空封裝

本發(fā)明公開(kāi)了一種微型皮拉尼計(jì)與體硅器件集成加工的方法。集成加工的方法包括：在硅基片正面制備體硅器件所需的絕緣層及電路引線；在硅基片的背面或正面沉積一層絕緣隔熱材料，刻蝕去除其四周部分得到絕緣隔熱層；在絕緣隔熱層上制備加熱體和電極；在沒(méi)有加熱體的一面制備圖形化的光刻膠掩膜；在有加熱體的一面沉積金屬膜；將金屬膜粘貼在表面有氧化層的硅托片上；對(duì)有光刻膠掩膜的一面進(jìn)行感應(yīng)耦合等離子體干法刻蝕，刻穿硅基片；去除光刻膠掩膜和金屬膜，得到集成結(jié)構(gòu)。本發(fā)明能有效提高皮拉尼計(jì)的制備與其它工藝的兼容性，解決皮拉尼計(jì)與體

成果與項(xiàng)目的背景及主要用途：目前，多軸拉扭疲勞試驗(yàn)機(jī)多采用液壓系統(tǒng) 實(shí)現(xiàn)，液壓疲勞試驗(yàn)機(jī)主要存在以下幾個(gè)問(wèn)題：1、液壓系統(tǒng)的量程較大，無(wú)法 滿足小型試件的精密試驗(yàn)；2、動(dòng)態(tài)響應(yīng)速度慢，無(wú)法進(jìn)行高頻疲勞試驗(yàn)；3、功 率大，試驗(yàn)過(guò)程中產(chǎn)生較多熱量，試驗(yàn)機(jī)進(jìn)行高周疲勞試驗(yàn)時(shí)會(huì)有散熱問(wèn)題。因 此，液壓試驗(yàn)機(jī)無(wú)法滿足微電子材料、高分子材料等各種新型材料的力學(xué)性能測(cè) 試要求。 本試驗(yàn)機(jī)可以滿足新型材料的拉扭復(fù)合應(yīng)力下微電子材料、高分子材料等各 種新型材料的力學(xué)性能的測(cè)試。 技術(shù)原理與工藝流程簡(jiǎn)介：音圈電機(jī)是本試驗(yàn)機(jī)的基本作動(dòng)單元，該電機(jī)具 有卓越的直線進(jìn)給運(yùn)動(dòng)控制功能。其工作原理是利用通電線圈在恒定磁場(chǎng)中受電 磁力作用，力的大小與磁場(chǎng)強(qiáng)度、線圈運(yùn)動(dòng)速度及通電電流成正比。當(dāng)電機(jī)型號(hào) 確定，磁場(chǎng)強(qiáng)度也就確定，因此電機(jī)的作動(dòng)單元可根據(jù)需要形成力矩環(huán)或速度環(huán) 的閉環(huán)控制方式。電機(jī)的動(dòng)態(tài)響應(yīng)性能優(yōu)越，運(yùn)動(dòng)加速度可達(dá)到 20g。同時(shí)，輸 出力與通電電流成正比，可方便對(duì)輸出載荷的大小進(jìn)行控制調(diào)節(jié)。將電機(jī)控制器 與上位機(jī)相連，可單獨(dú)對(duì)電機(jī)進(jìn)行控制或與上位機(jī)通訊控制。電機(jī)控制器提供 AD 輸入接口，可以將外部載荷傳感器信號(hào)輸入形成閉環(huán)控制，或采用電機(jī)控制 器的命令將信號(hào)讀出進(jìn)行顯示和存儲(chǔ)。扭轉(zhuǎn)方向采用微型直流電機(jī)與減速器配合 使用，可在保證 0.0068 度的角度控制精度下輸出 1N·m 大小以?xún)?nèi)的扭矩。采用 與直線動(dòng)動(dòng)方向相同的控制器對(duì)扭轉(zhuǎn)方向的運(yùn)動(dòng)進(jìn)行控制。扭矩的大小同樣可以 通過(guò)外部扭矩傳感器測(cè)量得到后輸入到控制器進(jìn)行處理。 試驗(yàn)機(jī)的控制裝置為全數(shù)字閉環(huán)控制系統(tǒng)，兩種控制模式（載荷、位移） 可根據(jù)需要自由選擇。由于位移控制的精度極高（最大分辨率 1um），經(jīng)標(biāo) 定可以將位移信號(hào)用作應(yīng)變信號(hào)。軸向運(yùn)動(dòng)與扭轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)由獨(dú)立的控制器分別 控制，兩通道可無(wú)干擾的異步工作，也可同步協(xié)調(diào)工作。控制波形由音圈電 機(jī)控制器的內(nèi)部數(shù)字寄存器產(chǎn)生，可生成三角波、正弦波、方波、斜波、梯 形波等各種控制波形。合理的設(shè)置拉扭方向的控制方式及波形、頻率，可實(shí) 現(xiàn)比例路徑和各種非比例路徑的加載，用于研究金屬、非金屬材料在多軸非 比例加載條件下的力學(xué)響應(yīng)。通過(guò)將電機(jī)控制器與上位機(jī)相連，可以把試驗(yàn) 過(guò)程中的載荷、位移信號(hào)在上位機(jī)實(shí)時(shí)顯示、控制或存儲(chǔ)以備后續(xù)處理。 音圈電機(jī)控制器可以解釋和執(zhí)行 ASCII 碼命令，可利用 VB 或 Delphi 等編程 語(yǔ)言制作疲勞試驗(yàn)程序界面，形成上位機(jī)對(duì)音圈電機(jī)的控制。控制器對(duì)單條指令 的解釋時(shí)間不超過(guò) 200μs，可以滿足疲勞試驗(yàn)動(dòng)態(tài)響應(yīng)要求。自主開(kāi)發(fā)的疲勞 試驗(yàn)程序功能主要包括初始化電機(jī)控制器的控制參數(shù)，對(duì)試驗(yàn)數(shù)據(jù)如軸向力、位 移、扭矩、轉(zhuǎn)角進(jìn)行實(shí)時(shí)顯示和存儲(chǔ)，設(shè)定試驗(yàn)參數(shù)，對(duì)電機(jī)進(jìn)行位移和載荷方 式保護(hù)等。 技術(shù)水平及專(zhuān)利與獲獎(jiǎng)情況：試驗(yàn)機(jī)具有精度高、響應(yīng)快、功耗小、易操作 等主要特點(diǎn)。拉扭電機(jī)及拉扭傳感器均為美國(guó)原裝進(jìn)口。 拉伸載荷±100N；扭轉(zhuǎn)載荷±1Nm；位移行程 50mm；頻率 0.01-80Hz。 [1] 專(zhuān)利：微型寬頻拉-扭疲勞試驗(yàn)機(jī)，申請(qǐng)?zhí)枺?004200298116，已授權(quán)。 [2] 專(zhuān)利：高頻響應(yīng)高溫拉-扭疲勞引伸計(jì)，申請(qǐng)?zhí)枺?004100721891 應(yīng)用前景分析及效益預(yù)測(cè)：將單軸疲勞模型應(yīng)用到多軸情況已不能滿足現(xiàn)代 工業(yè)的設(shè)計(jì)要求，因此材料多軸疲勞的試驗(yàn)研究已成為疲勞領(lǐng)域的重要課題。隨 著新材料，如高分子材料，電子材料的涌現(xiàn)，對(duì)其力學(xué)性能的試驗(yàn)研究有很大的 需求。 應(yīng)用領(lǐng)域：材料的力學(xué)性能試驗(yàn)，包括單軸拉伸，扭轉(zhuǎn)，拉扭復(fù)合的疲勞試 128天津大學(xué)科技成果選編 129 驗(yàn)。 合作方式及條件：可提供現(xiàn)成產(chǎn)品，或技術(shù)轉(zhuǎn)讓。 

本索拉非尼 (sorafenib) 是一種新穎的二芳基脲化合物，由Bayer和Onyx公司共同開(kāi)發(fā)，于 2005年12月獲美國(guó)FDA批準(zhǔn)。索拉非尼是首個(gè)口服多激酶抑制劑，靶向作用于腫瘤細(xì)胞以及腫 瘤血管內(nèi)絲氨酸/蘇氨酸激酶受體和酪氨酸激酶受體。它適應(yīng)晚期腎細(xì)胞癌的治療，是少有的 晚期癌癥治療藥物，被稱(chēng)為重磅級(jí)藥物。所開(kāi)發(fā)的索拉非尼合成路線，所有原材料都立足于國(guó)內(nèi)，反應(yīng)步驟簡(jiǎn)潔，操作簡(jiǎn)便，無(wú)昂 貴的輔助試劑，易于規(guī)模化生產(chǎn)。

本索拉非尼 (sorafenib) 是一種新穎的二芳基脲化合物，由Bayer和Onyx公司共同開(kāi)發(fā)，于 2005年12月獲美國(guó)FDA批準(zhǔn)。索拉非尼是首個(gè)口服多激酶抑制劑，靶向作用于腫瘤細(xì)胞以及腫 瘤血管內(nèi)絲氨酸/蘇氨酸激酶受體和酪氨酸激酶受體。它適應(yīng)晚期腎細(xì)胞癌的治療，是少有的 晚期癌癥治療藥物，被稱(chēng)為重磅級(jí)藥物。所開(kāi)發(fā)的索拉非尼合成路線，所有原材料都立足于國(guó)內(nèi)，反應(yīng)步驟簡(jiǎn)潔，操作簡(jiǎn)便，無(wú)昂 貴的輔助試劑，易于規(guī)模化生產(chǎn)。

伊馬替尼是瑞士諾華公司研發(fā)的一種酪氨酸激酶抑制劑類(lèi)抗腫瘤藥物，于2001年5月獲得 美國(guó)食品與藥品管理局 (FDA) 的批準(zhǔn)上市，用于治療慢性骨髓性白血病，又于2002年2月被批 準(zhǔn)用于治療胃腸道間質(zhì)細(xì)胞腫瘤，具有起效迅速、轉(zhuǎn)移性強(qiáng)、副作用小等優(yōu)點(diǎn)，其專(zhuān)利化合物 專(zhuān)利近年到期，國(guó)內(nèi)多家企業(yè)仿制上市。 尼洛替尼是瑞士諾華公司開(kāi)發(fā)的第二代具有高度選擇性的酪氨酸激酶抑制劑，用于對(duì)既往 治療(包括伊馬替尼治療)耐藥與不耐受的費(fèi)城染色體陽(yáng)性慢性髓性白血病慢性期或加速期的成 人患者，治療范圍更廣，療效更佳，目前國(guó)內(nèi)多個(gè)企業(yè)醞釀尼洛替尼的仿制工作。 達(dá)沙替尼由百時(shí)美施貴寶公司研發(fā)，2006年2月在美國(guó)首次上市。是首個(gè)批準(zhǔn)上市的口服 多重酪氨酸激酶抑制劑，用于對(duì)既往治療失敗或不耐受的成人各階段慢性髓細(xì)胞樣白血病，也 可用于治療對(duì)其他療法耐藥或不耐受的費(fèi)城染色體陽(yáng)性急性淋巴細(xì)胞性白血病成年患者。目前 國(guó)內(nèi)多個(gè)企業(yè)進(jìn)行達(dá)沙替尼的仿制工作。 

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【成份】 本品主要成分為頭孢地尼。 【性狀】 本品內(nèi)容物為淡黃色或黃色粉末或顆粒。 【功能主治】 對(duì)頭孢地尼敏感的葡萄球菌屬、鏈球菌屬、肺炎球菌、消化鏈球菌、丙酸桿菌、淋病奈瑟氏菌、卡他莫拉菌、大腸埃希菌、克雷伯菌屬、奇異變形桿菌、普魯威登斯菌屬、流感嗜血桿菌等菌株所引起的下列感染： ·咽喉炎、扁桃體炎、急性支氣管炎、肺炎； ·中耳炎、鼻竇炎； ·腎盂腎炎、膀胱炎、淋菌性尿道炎； ·附件炎、宮內(nèi)感染、前庭大腺炎； ·乳腺炎、肛門(mén)周?chē)撃[、外傷或手術(shù)傷口的繼發(fā)感染； ·毛囊炎、癤、癤腫、癰、傳染性膿皰病、丹毒、蜂窩組織炎、淋巴管炎、甲溝炎、皮下膿腫、粉瘤感染、慢性膿皮癥； ·眼瞼炎、麥粒腫、瞼板腺炎 【規(guī)格】 按C18H19N3O5S計(jì)0.25g。