基于平面鏡反射的微懸臂梁偏轉(zhuǎn)檢測新技術(shù)
基于平面鏡反射的微懸臂梁偏轉(zhuǎn)檢測新技術(shù)采用在檢測系統(tǒng)外添加平面鏡的手段,進一步提高了微懸臂梁檢測的精確度,并且實現(xiàn)了同時對多根梁的往復(fù)檢測、實時檢測。不僅有效的避免了因移動系統(tǒng)元件導(dǎo)致巨大誤差的缺點;而且極大地提高了檢測的效率。該新技術(shù)具有檢測精度高、系統(tǒng)結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、生產(chǎn)周期短、成本相對較低、易實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化、具有顯著的經(jīng)濟效益和社會效益。國家發(fā)明專利授權(quán):201420094273.2(授權(quán)),201410075534.0(實質(zhì)審查)
安徽理工大學
2021-04-13