二維集成式精密定位工作臺(tái)(博實(shí))
產(chǎn)品詳細(xì)介紹:二維集成式工作臺(tái)通過(guò)柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)對(duì)壓電陶瓷進(jìn)行直接或放大以實(shí)現(xiàn)無(wú)間隙無(wú)耦合的微位移傳動(dòng),具有沿X軸方向和Y軸方向的兩維運(yùn)動(dòng),行程從10um至200um。該系列微動(dòng)臺(tái)可集成電阻應(yīng)變片以實(shí)現(xiàn)高精度閉環(huán)控制,并可根據(jù)客戶需求定制更小尺寸的微動(dòng)臺(tái)。
哈爾濱工業(yè)大學(xué)博實(shí)精密測(cè)控有限責(zé)任公司
2021-08-23