一種具有高傳輸效率可快速連續調節能量的降能器
本發明公開了一種具有高傳輸效率可快速連續調節能量的降能 器,包括碳化硼能量粗調單元、石墨能量精調單元、束流準直器組、 運動控制模塊、真空模塊;碳化硼能量粗調單元實現能量的初級步進 調節,提高了束流傳輸效率;石墨能量精調單元可實現束流能量的連 續精準調節;準直器組可對束流發射度進行有效抑制,通過改變孔徑 實現了發射度的選擇;運動控制模塊可分別對碳化硼和石墨能量調節 單元進行快速運動控制,保證了能量的快速調節;真空模塊創造并維 持了真空環境。本發明的降能器可以實現束流能量的高傳輸效率、快 速、連續調節,
華中科技大學
2021-04-14