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半導體設備超潔凈流控系統及其受制約流控零部件
浙江大學聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術
一、項目分類
關鍵核心技術突破
二、技術分析
如何通過超潔凈流控技術降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產高端半導體制造裝備研制面臨的重大挑戰，直接關乎整機產品的產線應用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導體制造裝備產業面臨核心零部件“卡脖子”風險。浙江大學流體動力與機電系統國家重點實驗室啟爾團隊所承擔的高端半導體制造裝備核心分系統之一的超潔凈流控系統，自2004年以來在國家863計劃和國家02專項支持，聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術，完成了超潔凈流控系統九大組件的研制和集成測試，為半導體制造設備掃描速度與產能的提高提供基礎理論與方法依據，同時自主研發的半導體機臺核心超潔凈流控零部件實現了產品化，突破了國外技術的封鎖，為我國半導體制造的發展與自主創新提供了基礎支撐。
浙江大學
2022-07-22
防皮膚損傷輸液套
本實用新型公開了一種防皮膚損傷輸液套，涉及醫療用品領域，提供一種能夠避免輸液時，撕膠布對患者皮膚產生損傷的防皮膚損傷輸液套。防皮膚損傷輸液套包括彈性套和粘貼膜，粘貼膜的一端與彈性套連接，粘貼膜未與彈性套連接部分的表面設置有粘性層，粘性層朝向彈性套，粘性層上覆蓋有保護膜。輸液時，將彈性套套到患者手臂上，將輸液針放在彈性套上，在將粘貼膜粘到輸液針、輸液管和彈性套上即可固定輸液針和輸液管。輸液完成后，撕下粘貼膜即可拔針，或者不撕粘貼膜，連同彈性套一起拔針。采用本實用新型固定輸液針，沒有任何物件與患者皮膚粘貼，能夠避免接觸輸液針固定時對患者皮膚的撕扯，避免患者皮膚受損。
四川大學
2016-10-10
LED臺燈組裝套材
供應各種通用技術LED臺燈組裝套材，格優惠，質量保證，歡迎廣大客戶來電咨詢。
備注：以上是LED臺燈組裝套材的詳細信息，如果您對LED臺燈組裝套材的價格、型號、圖片有什么疑問，請聯系我們獲取LED臺燈組裝套材的最新信息。
咨詢電話：0577-67473999
溫州市育人教儀制造有限公司
2021-08-23
LED臺燈組裝套材
LED小臺燈組裝套材，可重復使用，燈罩可自行設計。
寧波華茂文教股份有限公司
2021-08-23
自制木質相框套材
設計范圍175mm×125mm×10mm，包含邊框、底板、透明面板等。
寧波華茂文教股份有限公司
2021-08-23
LED臺燈組裝套材
LED小臺燈組裝套材,一次性。
寧波華茂文教股份有限公司
2021-08-23
自制木質書架套材
細木工板散件。
寧波華茂文教股份有限公司
2021-08-23
自制水位控制套材
配備水位電子控制器自制材料，水位傳感器自制材料以及水位控制小型試驗裝置（環保有機玻璃精致加工而成）；分析水位閉環控制系統的基本組成與工作過程，理解傳感器、控制器和執行器的作用，學會設計簡單的控制系統并通過模型的構建進行驗證和改進，同時也可作為流程試驗套件。
寧波華茂文教股份有限公司
2021-08-23
舂米機制作套材
木棒、方形木塊、鋼絲條、木板等。
寧波華茂文教股份有限公司
2021-08-23
基于超音速熱噴涂技術的裝備關鍵零部件表面耐磨耐蝕涂層
許多工業設備往往因為某個關鍵零部件表面的損壞，導致整個系統效能大幅度降低甚至報廢，造成極大地浪費。綜合應用先進的表面涂層技術，不僅可以極大延長裝備關鍵零部件的壽命，提高產品質量，甚至可以修復已損壞的關鍵零部件，實現裝備的再制造，達到節能、減排、降耗、環保之目的。 熱噴涂技術可使工件表面獲得不同于基體材料的特性，具備更優良的強度、硬度、耐磨、耐蝕、耐熱、絕緣、導電、密封、抗氧化、隔熱、消毒、防微波輻射以及其它各種特殊物理化學性能。它不僅可以再制造修復關鍵零部件，使報廢的零部件
華南理工大學
2021-04-14