中國(guó)科大在氧化鎵功率電子器件領(lǐng)域取得重要進(jìn)展
課題組基于NiO生長(zhǎng)工藝和異質(zhì)PN的前期研究基礎(chǔ)(Weibing Hao, et.al., Applied Physics Letters, 118, 043501, 2021),設(shè)計(jì)了結(jié)終端擴(kuò)展結(jié)構(gòu)(Junction Termination Extension, JTE),并優(yōu)化退火工藝,成功制備出耐高壓且耐高溫的氧化鎵異質(zhì)結(jié)二極管。
中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)
2022-06-02