一種柔性超疏水超疏油結(jié)構(gòu)制備方法
本發(fā)明公開(kāi)了一種柔性超疏水超疏油結(jié)構(gòu)制備方法,該制備方法包括如下步驟:(1)制作柔性超疏水超疏油結(jié)構(gòu)底層:在基底上旋涂一層負(fù)性光刻膠,不用掩膜進(jìn)行曝光;(2)在步驟(1)曝光后的負(fù)性光刻膠上旋涂一層負(fù)性光刻膠,利用陣列圖形掩膜進(jìn)行曝光;(3)結(jié)構(gòu)層光刻膠第二次曝光:采用跟步驟(2)對(duì)應(yīng)的掩模進(jìn)行套刻曝光;(4)顯影:將上述步驟中曝光后的結(jié)構(gòu)進(jìn)行顯影;(5)鍍保護(hù)層膜:在步驟(4)中得到的結(jié)構(gòu)表面形成一層保護(hù)膜;(6)剝離:將經(jīng)過(guò)步驟(5)處理后得到的結(jié)構(gòu)從基底上剝離,得到所述柔性超疏水超疏油結(jié)構(gòu)。按
華中科技大學(xué)
2021-04-14